III-V族氮化物单晶衬底
| 晶体 | 结构 |
M.P. [°C] |
相对GaN晶格 失配度 |
生长方法& 最大直径 |
Info |
|---|---|---|---|---|---|
|
Al2O3 氧化铝蓝宝石衬底 |
Hexag. a=4.758Å c=12.99Å |
2030 |
14% at <0001> ori. |
CZ ø50mm |
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|
LiAlO2 偏铝酸锂衬底 |
Tetrag. a=5.17Å c=6.26Å |
1700 |
1.4% at <100> ori. |
CZ ø20mm |
|
|
LiGaO2 镓酸锂衬底 |
Orthor. a=5.406Å b=5.012Å c=6.379Å |
1600 |
0.2% at <100> ori. |
CZ ø30mm |
|
|
MgAl2O4 多晶铝酸镁 |
Cubic a=8.803Å |
2130 |
9% at <111> ori. |
CZ ø40mm |
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MgO 氧化镁衬底 |
Cubic a=4.216Å |
2800 |
13% at <111> ori. |
Flux ø2" |
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SiC (6H) 碳化硅衬底 |
Hexag. a=3.080Å c=15.12Å |
~2700 subl. |
3.5% at <0001> ori. |
Lely 10x10mm |
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|
ZnO 氧化锌衬底 |
Hexag. a=3.325Å c=5.213Å |
1975 |
2.2% at <0001> ori. |
Hydrothermal ø20mm |
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