北京汇德信科技有限公司

III-V族氮化物单晶衬底


晶体 结构 M.P.
[°C]
相对GaN晶格
失配度
生长方法&
最大直径
Info

Al2O3
Sapphire

氧化铝蓝宝石衬底

Hexag.
a=4.758Å
c=12.99Å
2030 14% at
<0001> ori.
CZ
ø50mm
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LiAlO2

偏铝酸锂衬底

Tetrag.
a=5.17Å
c=6.26Å
1700 1.4% at
<100> ori.
CZ
ø20mm

LiGaO2

镓酸锂衬底

Orthor.
a=5.406Å
b=5.012Å
c=6.379Å
1600 0.2% at
<100> ori.
CZ
ø30mm

MgAl2O4

多晶铝酸镁

Cubic
a=8.803Å
2130 9% at
<111> ori.
CZ
ø40mm
MgO
氧化镁衬底
Cubic
a=4.216Å
2800 13% at
<111> ori.
Flux
ø2"
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SiC (6H)

碳化硅衬底

Hexag.
a=3.080Å
c=15.12Å
~2700
subl.
3.5% at
<0001> ori.
Lely
10x10mm
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ZnO

氧化锌衬底

Hexag.
a=3.325Å
c=5.213Å
1975 2.2% at
<0001> ori.
Hydrothermal
ø20mm
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