氧化铝衬底（蓝宝石）Aluminiumoxid Substrate - Sapphire

结构分子式:

Al₂O₃

形态:

单晶

晶体结构:

六方

a = 4.77 Å

c = 13.04 Å

密度:

3.98 g/cm³

熔点:

2040°C

膨胀系数:

6.7 * 10^-6/°C

5.0 * 10^-6/°C

平行C-轴

垂直C-轴

介电常数 (e ):

9.0

11.5

平行C-轴

垂直C-轴

介电损耗 (10GHz):

3 * 10^-5

8.6 * 10^-5

平行C-轴

垂直C-轴

电阻率:

1019 W/cm

生产方法:

Czochralski, HEM, Verneuil 生长

取向:

(0001), (1-102), (11-20)

取向精度:

until ≤ 0.5°

标准尺寸:

10mm x 10mm x thickness 1mm or 0.5mm

长度公差:

± 0.02mm

厚度公差:

± 0.02mm

平行度:

≤ 0.3°

抛光:

一面或两面 外延抛光

平整度:

≤ 0.3μm / 10mm

表面粗糙度:

Ra≤10Å

划伤:

none

表面质量:

with light microscope without defects