北京汇德信科技有限公司

AFMinSEM


AFMinSEM

AFMinSEM


Nanoanalytik开发的原子力显微镜(AFMinSEMTM)空间结构紧凑,可在真空环境下实现高成像速度和高精度定位。


可集成在扫描电子显微镜(SEM)中实现样品的三维形貌表征,而不需要对SEM腔室进行额外的改造。附加新颖的微纳加工功能,如成像关联分析,扫描探针光刻,电子束诱导沉积,纳米加工(逆向工程,模板修复)等。


  • 真空环境的微纳米结构表征制备系统
  • 结构小巧,长X宽X高:110×70×50 mm
  • 压阻读数和双材料激励全部集成在SmartProbe上
  • 数据线标准法兰接口,适用于多数真空腔室
  • 三轴纳米定位,水平移动范围20x20mm





功能指标:


工作环境

大气、真空

尺寸

108×70×50 mm (长*宽*高)

重量

360 克

安装用时

< 5 分钟

最大样品尺寸

直径:70 mm,厚度:6 mm

样品台旋转角度

0°- 90°、90°- 180°

样品台倾斜角度

-10°- 60°

SEM工作距离

最小 4 mm


标准样片的三维表征

标准样片的三维表征



成像表征及关联分析

成像表征及关联分析



针尖光刻精准套刻

针尖光刻精准套刻



针尖诱导沉积

针尖诱导沉积



模板精准修复

模板精准修复


[*reprinted with permission from J. Vac. Sci. Technol., B 36, 06J102 (2018); Copyright 1998 by American Institute of Physics]



 

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