氧化镁衬底 Magnesiumoxid Substrate
材料性质
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结构分子式: |
MgO |
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形态: |
单晶 |
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晶体结构: |
立方 |
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晶格参数: |
4.213 Å |
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密度: |
3.58 g/cm3 |
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熔点: |
2800°C |
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膨胀系数: |
14.2 * 10-6/°C |
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介电常数 (e ): |
10 |
衬底性质
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取向: |
(100) |
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取向精度: |
≤0.5° |
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标准尺寸: |
10mm x 10mm x thickness 1mm or 0.5mm |
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长度公差: |
± 0.10mm (typical better ± 0.05mm) |
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厚度公差: |
± 0.05mm |
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平行度: |
≤0.02mm |
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抛光: |
标准:一面 |
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平整度: |
λ/4 |
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表面粗糙度: |
Rmax ≤5nm (平均 Ra = 1nm) |
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划伤: |
无 |
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表面质量: |
光学显微镜观察无缺陷 |


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