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纳米操纵机械手(纳米机械臂)

纳米操纵机械手 Manipulator—用于SEM和FIB中


在SEM中加装纳米操纵装置实现对微小样品进行移动、加工及材料物性测量功能。


机械手纳米操纵—用于SEM和FIB中

可以增加其他的手段,包括:三维测量,切割,样品和针尖清洁,力-距离曲线测量,探针电学测量,夹取颗料或样品,TEM切片,纳米摩擦测量,定点加热。


纳米操纵机械手(纳米机械臂):


纳米操纵机械手(纳米机械臂)

纳米操纵机械手(纳米机械臂)


专利技术的纳米马达是所有机械臂的核心。三个独立运动的线性工件台结合到每一个机械臂中,实现在三个轴向的0.5nm的分辨率。可以应用在大气和电子显微镜中。


  • 笛卡儿坐标设计,X,Y,Z 三方向独立运动互不干扰
  • 分辨率 1 nm
  • 行程 5-20 mm
  • 绝对位置定为精度: 
100x100 μm2 范围内 20~50nm
  • 任意行程范围内绝对定位精度均 < 500nm
  • 固定式安装
  • 自动控制功能


可集成多种附件,实现以下功能:


  • 三维测量


纳米操纵机械手三维测量原理图


纳米操纵机械手三维测量效果图


  • 切割


纳米操纵机械手切割示意图


纳米操纵机械手切割效果图


  • 样品和针尖清洁


纳米操纵机械手样品和针尖清洁示意图


纳米机械臂样品和针尖清洁效果图


  • 力-距离曲线测量


纳米机械臂力-距离曲线测量效果图


纳米机械臂力-距离曲线测量结果图


  • 探针电学测量


纳米机械臂力-距离曲线测量效果图


  • 夹取颗料或样品


纳米操纵机械手夹取颗料或样品示意图


  • 纳米摩擦测量


纳米机械臂纳米摩擦测量


  • 定点加热


纳米操纵机械手定点加热



 

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