北京汇德信科技有限公司

PLD-Workstation

脉冲激光沉积(PLD)是用于薄膜沉积的通用工艺设备,它主要的优点是可以将特定化学计量比的靶材组分转移到衬底。SURFACE公司的PLD-Workstation是用于薄膜沉积的优秀研发设备,利于探索新材料尤其是高级氧化物。


PLD-Workstation将PLD设备中的所有部件包括准分子激光器和激光气体集成到一个简单的框架内。紧凑的设计确保设备使用灵活,避免了许多安装工作,具有极强的通用性,没有PLD经验的用户也可以轻易上手。


PLD-Workstation
PLD-Workstation


PLD-Workstation将先进的沉积技术融入到功能强大而紧凑的设备中-应用广泛。


  • 全封闭激光光路,从外部调整反射镜等,避免使用者暴露在紫外激光中
  • 准分子激光器和激光气体与外部排气管道相连


真空腔室- 结构灵活


真空腔室专为科研而设计,多个备用法兰用于常规的原位分析工具或系统扩展


  • 光学分析OES 或FTIR
  • RHEED
  • 质谱仪
  • 其他沉积源或等离子体源



羽辉控制- 强大的自动化平台


  • SURFACE 的PLD 设备自动控制整个沉积工艺,设备操作简单
  • 基于Windows 操作系统下LabView 程序编写的PLD 控制软件
  • 多个工艺步骤可合并到一个沉积程序中
  • 直观的工艺过程可视化操作,高度灵活的数据记录和导出,优异的自我测试能力


客户支持


SURFWARE 软件- 先进的客户支持工具


  • 快速联系到SURFACE 支持团队
  • SURFACE 支持工程师可以远程控制PLD 设备,并提供视听支持
  • 快速解决硬件问题和客户的工艺编程问题
  • 软件自动升级


规格


准分子激光器 Coherent COMPexPro 201F or 205F
波长 248 nm
激光气体 20 l 预混气体,10 l 氦气
工艺气体 2x MFC 通道
衬底加热器 2”850 ℃ 或1000 ℃
1”或3”可选
衬底转速 0-50 RPM
靶台 4x2”靶,转速0-50 PRM
控制系统 基于电脑控制,集成的TFT 显示器
IT 特色 局域网连接,SURFWARE 支持软件
设备尺寸 约 2200x850x1600 mm
供电 3x400 VAC/50 Hz 或3x208 VAC/60 Hz
水冷 含水冷机


 

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客户服务热线
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