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SCALA mini微悬臂梁检测系统

SCALA mini微悬臂梁检测系统


SCALA mini是一款由西班牙Mecwins公司研制、基于微悬臂梁的经济型MEMS传感检测平台。它即可以检测静态和动态模式下表征MEMS样品,也可以测量与每个悬臂相关联的热噪声和频率。它的一个重要方面,可以测量任何品牌悬臂的偏转和振动,可获得快速、可靠的结果,尤其适合于中小型研究团队和实验室。


原理:SCALA mini是基于光束偏转技术,结合自动化的二维扫描激光束和位置敏感探测器采集的反射光。 接收信号之间的关联允许悬臂扰度的直接原位测量,对所接收信号的处理生成被扫描MEMS的动态响应。


SCALA mini微悬臂梁检测系统图片 悬臂梁阵列图片
SCALA mini微悬臂梁检测系统 悬臂梁阵列


特征:


  • 检测范围1nm~40um
  • 扫描任何表面,面积可达6mm x 6mm
  • X-Y精度可根据用户需要调节
  • 同时具有静态和动态测量模式.
  • 气候实验腔(选配)
    • 温度控制
    • 湿度控制
  • 专业多功能软件
    • 形貌检测
    • 力学传感器任意的单点扰度测量
  • 频率测量(热噪声和力学激励)


应用:   SCALA mini特别适合小型研发或质量控制部门,  适合 MEMS、生物传感器、静态和动态模式、频率、振动模式分析、超薄膜等研究


 

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