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微纳制造与加工技术:

 

  系统

• 桌面型纳米压印机
• 高分辨紫外/深紫外PHABL...
• Laser MBE
• 脉冲激光沉积系统 PLD
• 微波等离子清洗机
• 微波等离子去胶机
• μAM技术
• CERES微纳金属3D打印系统
• 扫描针尖电子束光刻机（SPL）
• 德国 Zoz 高能球磨机

 

  组件

• 纳米马达
• 光刻工件台

 

材料检测及测量技术:

 

• PTFE 削膜机
• 纳米级三维测量仪 / 微型三坐标测量仪（...
• 德国Keller（凯乐）红外测温仪
• 宽频介电阻抗谱仪(电介质测量工具)
• LAwave杨氏模量无损测量系统
• SCALA CAL 超薄薄膜热分析仪
• 微悬臂芯片
• AVAC 高通量多重单分子免疫检测分析仪...
• SCALA BIO生物分子检测平台
• SCALA mini 微悬臂梁检测系统
• SCALA 扫描式激光分析仪
• AFMinSEM
• 原子力显微镜

 

实验样品及耗材:

 

• HSQ-光刻胶/SOG
• 光刻胶/抗蚀剂
• 纳米压印工艺解决方案
• Temicon纳米压印模板
• 纳米压印模板及光栅点阵制作
• 光栅
• 科研用各种材料（单晶-靶材-HOPG-高纯材料等）

 

 

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