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超高真空表面分析平台—MULTIPROBE
扫描探针显微镜系统(SPM){RT/VT/LT SPM、MFM、EFM、Kelvin Probe、Q-Plus
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X射线光电子能谱仪(XPS){ESCA+、NanoESCA}
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飞行时间二次离子质谱仪
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新品：AO 500紧凑型快速退火系统

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Raith电子束光刻系统
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凯乐红外测温仪
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