TSST

微纳制造与加工技术

• 高分辨紫外/深紫外PHABLE光刻机
• 新品纳米激光直写光刻系统
• 新品桌面型纳米压印机
• 新品高精度压印模具激光焊接系统
• 扫描针尖电子束光刻机（SPL）
• 去胶机（微波等离子去胶机）
• 微波等离子清洗机
• 新品CERES微纳金属3D打印系统
• 单离子注入（SII）
• 微生产（组装）系统
• 德国Zoz Simoloyer® 系列
  高能球磨机

  组件

• 新品紫外光源系统及部件
• 纳米马达
• 纳米操纵机械手

真空和薄膜生长技术

• 脉冲激光沉积系统PLD
• Laser MBE

  组件

• 反射式高能电子衍射仪
  (RHEED，适用于MBE,PLD)
真空标准件


┗ 摆动杆

┗ 超高真空对应驱动器

┗ 超高真空冷却加热装置

┗ 超高真空旋转导入装置

┗ 超高真空直线移动装置

┗ 角度可调短管

┗ 超高真空样品传输器

┗ 超高真空传样头 AST系列

┗ 其它真空组件

材料检测及测量技术

• 宽频介电阻抗谱仪
• 杨氏模量无损测量系统
• SCALA 扫描式激光分析仪
• 纳米级三维测量仪
• 原子力显微镜（AFM）
• AFMinSEM
• 德国Keller（凯乐）红外测温仪

实验样品及耗材

• 单晶-靶材-衬底-HOPG-高纯材料等
• 新品波带片-X射线光学元件及加工

纳米压印工艺解决方案

┗ 纳米压印模板及光栅点阵制作

┗ 光栅

┗ Temicon纳米压印模板

• 光刻胶(抗蚀剂)
• 新品HSQ-光刻胶/SOG

测试及加工服务

• 材料介电性能测试服务
• 提供杨氏模量无损测量服务
• 微纳米结构加工服务
• 玻璃微器件3D打印服务