北京汇德信科技有限公司

EUV极紫外能量计

13.5nm EUV极紫外能量计


EUV极紫外能量计
EUV极紫外能量计


该能量计是一款紧凑且易于操作的能量监测器,测量波长为13.5 nm( 2%带宽),是开发极端紫外线源的必不可少的设备。


该设备主要由一个可以拦截EUV极紫外范围以外波长的光电二极管组成。二极管连接到一个多层镜式的光谱滤光片,该滤光片的参数为中心波长为13.5 nm ,带宽0.27 nm(为2%)如下图所示。



该能量计的校准是“in-house”校准,”in-house”校准的工具是在国家标准局(例如柏林物理技术大学)进行校准的。”in-house”校准时,使用两个工具相对于光源以相同角度同时连接。 此交叉校准的重现性优于1%。



技术数据


  • 长度:22厘米
  • 真空连接:CF40
  • 中心波长:13.5 nm
  • 带宽:0.27 nm
  • 连接:50Ω BNC
  • 脉冲长度:2μs
  • 典型信号:30 mV /(mJ sr-1
  • 距光源70厘米


 

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