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新品:台式扫描电子显微镜(SEM)

台式扫描电子显微镜

(SEM)

EARTH MERCURY MARS

台式扫描电子显微镜(SEM)


-Micro Inspection System微检测系统


台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope)是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的电子显微镜。其原理和传统扫描电子显微镜相同。部件包括:电子发射、电磁透镜、信号探测、真空系统、计算机控制系统。


台式扫描电子显微镜与传统大型扫描电子显微镜相比,台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势,台式扫描电子显微镜分辨力能满足多数材料的显微观察。台式扫描电子显微镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的分辨率空白区域,可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。


台式扫描电镜的三个型号


我们主推三个型号的台式扫描电镜,他们都具有体积小,低厂务需求(无须冷却水,安装桌面小),更换样品快速,操作简单,维修容易,可安装客户定制分析软件等特点。同时他们各具特色,分别针对不同的应用需求。


MIS EARTH: 高效能 易操作 整合精密定位&先进演算分析


台式扫描电镜 MIS EARTH


EARTH适合快速检测多种样品。可提供固/液态双环境下结构与材料的静态检测;也是唯一能搭载扫描隧道探测器(STEM detector)的小型SEM;并可选配定位移动工作台升级为自动扫描分析系统。


MIS MERCURY: 直接液态检测,获得国家新创奖


悬浮粒径/聚集分散/成份变化 即时检测整合系统


台式扫描电镜 MIS MERCURY


MERCURY是MIS系统中的动态液态检测设备,专为特殊化学材料液体(liquid)或浆料(Slurry)所开发,具备自动化流体控制/温度控制的悬浮粒子动态分析功能。


MIS MARS: 大物件非破坏自动化检测


台式扫描电镜 MIS MARS


MARS适合检测较大零部件,可依据客户需求定制腔室和工作台;创新性设计减除样品导电性的限制;可配备高精密定位载台与多重感测自动分析系统,实现物体表面360度连续检测。


微检测系统MIS EARTH - 六硼化镧桌上型电子显微镜

 

微检测系统 MIS EARTH
微检测系统 MIS EARTH

 

EARTH (Micro Inspection System – EARTH,简称MIS EARTH),是MIS系列中的桌上型扫描电子显微镜,专为快速检测多种样品形态,所设计的微纳米测量与成份分析仪器。可提供固态/液态双环境下结构与材料的静态检测,也是唯一能搭载扫描穿透侦测器(STEM detector)的小型扫描电子显微镜,并可选配定位移动载台升级成自动扫描分析系统。

 

MIS EARTH的特点包含体积小、低厂务需求(无须冷却水、安装桌面小)、更换样品快速、操作可视化学习快、维护容易,且具备高弹性可定制的分析软体,是协助您专注创新于产品的最佳研发品管工具。

 

技术特点:

 

  • 六硼化镧高亮度电子枪, 高解析长寿命
  • 标配BSE/SE双侦测器, 具备Hybrid混合影像模式(BEI+SEI)
  • 全新可视化操作界面, 可升级触控荧幕与飞梭旋钮操作
  • 一键自动运行, 放入样品5分钟取得影像, 使用快速便利
  • 加大腔体, 样品形状尺寸限制小, 少破坏; 可放较多样品, 检测效率高
  • 标配高精密压电陶瓷马达电动样品载台 可升级闭回路自动定位载台
  • 提供多图像拼接功能, 扩展检测视野
  • 可选配STEM扫描穿透电子显微侦测器, 取得散射强化高清影像
  • 可选配DirectLiquid直接液态样品检测装置, 分析悬浮溶液中粒子
  • 可选配EDS成分分析能谱仪, 可升级LiveEDS与Feature高阶分析功能
  • 可选配PSD粒子分析软体, 可提供CSR客制化功能开发

 

产品规格:

 

电子显微系统规格 电子源 热游离式六硼化镧阴极
加速电压 5kV / 8kV / 10kV / 12kV / 15 kV
分辨率 < 14 nm
放大倍率 30 x – 60,000 x (相片倍率)
影像侦测器 多片环形背向散射电子侦测器(BSED)
二次电子侦测器(SED)
*扫描穿透电子侦测器(STED) (选配)
影像模式 BEI / SEI
HYBRID (硬件讯号混和BEI与SEI)
样品载台规格 载台系统 二轴自动PZT压电陶瓷马达载台(X, Y)
开回路控制系统 / 闭回路控制系统(选配)
样品尺寸 直径 60 mm,高 30 mm
长150 mm,宽80 mm,高30 mm
载台移动行程 X/ Y:± 20 mm
自动载台控制 压电陶瓷马达驱动器
操作界面規格 操作界面 MetroloGrapher操作软件 (繁/简/英文 多语支援)
新版可视化界面
自动功能 自动对焦,亮度/对比调整
连续储存,定时间隔撷取
量测工具 校准,长度/角度/面积,尺寸/文字标注
日期时间戳记
剖面线分析,灰阶统计长条图
影像像素 320 x 240 to 3200 x 2400
拼接大图模式下 可达10,000 x 10,000
输出格式 图片格式: JPEG/PNG/TIFF/BMP/GIF/EXIF
原始数据: BIF/BINARY/TXT

 

应用:


六硼化镧高亮度电子源 高清影像
六硼化镧高亮度电子源 高清影像


搭载STEM侦测器 取得散射对比强化影像
搭载STEM侦测器 取得散射对比强化影像


直接液态检测技术 突破真空样品限制 重现粒子状态
直接液态检测技术 突破真空样品限制 重现粒子状态


选配Oxford EDS成份分析能谱仪; 扩充闭回路载台与大图拼接
选配Oxford EDS成份分析能谱仪; 扩充闭回路载台与大图拼接


智能软件计算覆盖面积比例与粒子尺寸分布
智能软件计算覆盖面积比例与粒子尺寸分布


 

微检测系统MIS MERCURY – 流体液态电子束检测设备

 

微检测系统 MIS MERCURY
微检测系统 MIS MERCURY

 

MERCURY (Micro Inspection System – MERCURY,简称MIS MERCURY),是MIS系列中的动态液态检测设备,专为特殊化学材料液体(Liquid)或浆料(Slurry)所开发,具备自动化流体控制/温度控制的悬浮粒子动态分析设备。创新直接液态(DirectLiquid)技术突破电子显微真空下样品限制,并具备流体循环入注的取样模式,以及液态下的即时高温加热功能,是唯一结合直接液态临场观测功能与智能分析软体的液态扫描电子束检测系统。

 

MISMERCURY的特点包含动态直接液态检测系统(流体注入与动态连影片录制)、可编程温控加热系统,与先进粒子分析软体系统(尺寸/分类/分散/动态追踪),是协助您改善胶材/焊料/切割油/研磨液/电池浆料等产品制程的强大分析系统。

 

技术特点:

 

  • 六硼化镧高亮度电子枪, 搭载EDS成份分析能谱仪, 可选配LiveEDS与Feature高阶功能
  • BEI/SEI/Hybrid三种影像模式, 以及专为液态检测提供的强化影像模式
  • 创新直接液态(DirectLiquid)装置,胶囊概念实现易操作的检测装置;专利可调整液体层间距,同时适用液滴悬浮粒子与浸液基材的结构分析
  • 可定制DL装置, 依据客户样品内容与实验设计,可改变形状尺寸,也可附加刺激源与感测式 (光辐照/电刺激/电化学)
  • 具备流体控制系统,连续式循环流体取样 与 可切换两种流体样品
  • 温度控制系统,两种温控平台,最高温: 100℃ 与 200℃
  • 自动扫描结合智能运算, 实现参数化进料/温控, 分析粒子数量/成份/分散性等

 

应用:


检测液态浆料与含水样品
检测液态浆料与含水样品


专利技术最佳化液态悬浮粒子与液体下基材观测
专利技术最佳化液态悬浮粒子与液体下基材观测


创新技术适用多种样品型态的液态临场检测
创新技术适用多种样品型态的液态临场检测


静态DiectLiquid实现悬浮粒子尺寸分布计算 (上图);
静态DiectLiquid实现悬浮粒子尺寸分布计算 (上图);
动态DirectLiquid观察混和两种浆料发生的异常聚集 (下图)

 

 

微检测系统MIS MARS – 定制化大物件电子束检测设备

 

微检测系统 MIS MARS
微检测系统 MIS MARS

 

MARS (Micro Inspection System – MARS,简称MIS MARS),是MIS系列中的定制化大物件检测设备,专为高价值且不容许破坏的较大零组件(Parts)所开发之自动化缺陷检测与异常成份分析设备。依据客户需求提供腔体与载台的专业定制,创新设计减除样品导电性的限制,并可搭载高精密定位载台与多重感测自动分析系统,以专利技术实现物件表面360度连续检测,也是唯一提供定制分析软体的智能电子束检测设备。

 

MIS MARS的特点包含可定制腔体载台(扩大样品容许尺寸至6寸或以上)、精准座标定位、高度自动化流程、与先进缺陷分析演算引擎,且可订制通讯协定串连用户云端SPC或COA系统,是协助您改善产品与制程的高效率检测系统。

 

技术特点:

 

  • 六硼化镧高亮度电子枪, 搭载EDS成份分析能谱仪, 可升级LiveEDS与Feature高阶功能
  • BEI/SEI/Hybrid三种影像模式, 强化异常缺陷之特征
  • 定制化样品腔体, 容许大物件非破坏分析, 实现大范围检测
  • 定制化样品夹持治具, 依据复杂外观结构, 实现特殊角度分析
  • 闭回路高精密定位载台系统, 可定制旋转检测功能
  • 自动扫描结合智能运算, 实现全区域检测, 分析缺陷数量/尺寸/分布

 

产品规格:

 

电子显微系统规格 电子源 热游离式六硼化镧阴极
影像侦测器 多片环形背向散射电子侦测器(BSED)
二次电子侦测器(SED)
影像模式 BEI / SEI
HYBRID (硬件讯号混和BEI与SEI)
样品载台规格 载台系统 依据待测物几何定制样品载台
开回路控制系统 / 闭回路控制系统(选配)
样品尺寸 可定制

 

附图:


MARS 可提供较大零组件的定制扩充
MARS 可提供较大零组件的定制扩充


 

 

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