北京汇德信科技有限公司

超高真空整合系统


ArF 248nm激光器XY扫描装
ArF 248nm激光器XY扫描装
多腔室系统
多腔室系统
客户定制ALD集成系统
客户定制ALD集成系统


四探针原位蒸鍍系統

四探针原位蒸鍍系統


  • Mini-MBE(3个束源炉), 激光加热器
  • 热蒸发,可以蒸镀电极
  • 正中央是进样室与离子源
  • 低溫超导強磁場四探針,负责测量样品磁学性质


超高真空线性传输整合系统
超高真空线性传输整合系统


超高真空线性传输整合系统

设备特色:整套系统包括手套箱、传输系统、热蒸镀腔室、低溫热蒸镀腔室、离子清洗室、磁控溅射腔室、反应离子刻蚀腔室等



超高真空线性传输整合系统(Sputter+E-Beam)
超高真空线性传输整合系统(Sputter+E-Beam)
超高真空线性传输整合系统(Laser-MBE+BSD+Sputter)
超高真空线性传输整合系统(Laser-MBE+BSD+Sputter)


超高真空线性传输整合系统(Sputter+PLD)

超高真空线性传输整合系统(Sputter+PLD)

超高真空 Sputter与超高真空PLD串联在一起,光路分离系统可以共用248nm激光器。


超高真空线性传输整合系统(MBE+PLD和PLD+Sputter)

超高真空线性传输整合系统(MBE+PLD和PLD+Sputter)


PLD+Sputter

PLD+Sputter

PS - 3000是一套线性集成系统,包括脉冲激光沉积和磁控溅射镀膜工具。 研究人员可分别操作这两个系统,也可以通过UHV线性传输系统将多个/不同镀膜过程结合起来。

整个系统兼容超高真空(5E-9torr),并且隧道系统可以无限延伸。


PLD+Sputter

PLD+CIGS

PE - 2500是一套紧凑的集群系统,包括PLD和CIGS蒸发沉积系统。 整个系统兼容超高真空(5E-9torr),样品可以使用传输杆进行传输。




 

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