北京汇德信科技有限公司

脉冲激光沉积系统(PLD)


三个腔体系統

三个腔体系統(前方PLD腔室, 中间进样室负责样品传送与传送给后方的的E-beam+MBE腔室



脉冲激光沉积 PLD(Pulsed Laser Deposition)是将准分子脉冲激光器所产生的高功率脉冲激光束聚焦作用于靶材表面,使靶材表面产生高温熔蚀物,并进一步产生高温高压等离子体(羽辉),这种等离子体能够产生定向局部膨胀发射并在衬底上沉积成薄膜。


我们产品的主要特点:


  • PLD-12L 与PLD-18L装有激光加热系统,这是特别适合富氧或富氮气氛的完美加热器。它提供了一种高度局部的加热机制,可以容易地将衬底加热到1200℃,从而使附近的部件保持在低温以避免由于除气而造成衬底污染。
  • 腔体紧凑,抽气速度快。
  • PLD-18L可安装行星靶材料安装架,标准可安装六个,最多可安装八个一英寸靶材或是四个两英寸靶材。靶材操纵可旋转及自转。旋转,以选择不同的靶材材料,自转可提高薄膜沉积靶材材料的使用效率。PLD-18L可以装置激光扫描镜头,可以实现大面积样品的生长。可以兼容两只磁控溅射靶或四支束源炉。PLD-18L的扩充性强大,可以装4只束源炉或是等离子体源/电子束蒸发源,靶台可装8个1寸靶或者4个2寸靶。也有空间可以安装椭偏仪。
  • 可配反射高能电子衍射(High Pressure RHEED)。
  • 可加装椭偏仪,及实时监控。
  • 特殊的激光视窗保护机构可保护视窗,且价格合理。
  • 可使用mask生长出独特的薄膜图案。
  • FBBEAR控制软件使过程自动化,实现了精确控制和高稳定性。FBBEAR控制软件提供完整的数据记录、精确的参数调整,使用户操作简单,实验重复性可靠。


应用


可沉积异质结金属氧化物(如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等)、高温超导材料、硅氧化物、高k氧化物、金属氮化物、铁电材料等。



 

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