涡轮分子排气系统 ATU-001系列

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

特点：

简单实用：简洁设计，操作简单
用户自定义：9种真空泵可选
高性能：从大气压到高真空排气
可扩展组件：提供丰富组件搭配

涡轮排气单元形式

架台高度

L 低型

H 高型

涡轮分子泵

序号	型号（生产商）	排气速度	到达压力	备注
A	STP-301（EDWARDS）	300L/s	10^-8Pa	排气口法兰 ICF152 冷却方式　空冷（付风扇）付控制装置
B	TG220F（大阪真空）	210	10^-6
C	PT150（岛津制作所）	190	10^-8
D	HiPace300/TC110（伯东株式会社）	260	5×10^-8
E	STP-ix455（EDWARDS）	300	10^-8

前级泵

序号	型号（生产商）	排气速度	备注
R1	RV8（EDWARDS）	141L/min	付除油雾器 (OME25S)
R2	M2010SD（Alcatel-Lucent）	141
R3	M2015SD（Alcatel-Lucent）	208
S1	ISP-250C-SV（阿耐思特岩田株式会社）	250

可选组件

序号	商品名	高型	低型	备注
无	无
P		○	—
T	把手	○	—
Q	真空计：冷阴极-皮拉尼复合真空计	○	○	(M-360CP) 显示器(M601GC)
F	前置油阱	○	○	(FL-20K)
K	TMP固定板	○	—
A	自动排气	○	○
X1	特别定做分油器	○	○	ICF152×1,NW40×1
X2	特别定做分油器	○	○	ICF152×1,ICF70×3,NW25×2
X3	特别定做分油器	○	○	ICF152×2,ICF70×4
Z	※可根据具体要求设计定做

其他部品

一次侧输入电源：	单相AC100V 电源线2m,底线付电源插头
阀门：	隔离阀(V-025SV-100)
配管：	NW25接口波纹管 SUS304
排气管：	NW25(16)-38聚氯乙烯管

ATU-001设计图

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客户服务热线
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