涡轮分子排气系统 ATU-001系列
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特点:
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架台高度
L 低型
H 高型
涡轮分子泵
序号 | 型号(生产商) | 排气速度 | 到达压力 | 备注 |
A | STP-301(EDWARDS) | 300L/s | 10-8Pa |
排气口法兰 ICF152 冷却方式 空冷(付风扇) 付控制装置 |
B | TG220F(大阪真空) | 210 | 10-6 | |
C | PT150(岛津制作所) | 190 | 10-8 | |
D | HiPace300/TC110(伯东株式会社) | 260 | 5×10-8 | |
E | STP-ix455(EDWARDS) | 300 | 10-8 |
前级泵
序号 | 型号(生产商) | 排气速度 | 备注 |
R1 | RV8(EDWARDS) | 141L/min |
付除油雾器 (OME25S) |
R2 | M2010SD(Alcatel-Lucent) | 141 | |
R3 | M2015SD(Alcatel-Lucent) | 208 | |
S1 | ISP-250C-SV(阿耐思特岩田株式会社) | 250 |
可选组件
序号 | 商品名 | 高型 | 低型 | 备注 |
无 | 无 |
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P |
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○ | — | |
T | 把手 | ○ | — | |
Q | 真空计:冷阴极-皮拉尼复合真空计 | ○ | ○ | (M-360CP) 显示器(M601GC) |
F | 前置油阱 | ○ | ○ | (FL-20K) |
K | TMP固定板 | ○ | — | |
A | 自动排气 | ○ | ○ | |
X1 | 特别定做 分油器 | ○ | ○ | ICF152×1,NW40×1 |
X2 | 特别定做 分油器 | ○ | ○ | ICF152×1,ICF70×3,NW25×2 |
X3 | 特别定做 分油器 | ○ | ○ | ICF152×2,ICF70×4 |
Z | ※可根据具体要求设计定做 |
其他部品
一次侧输入电源: |
单相AC100V 电源线2m,底线付电源插头 |
阀门: | 隔离阀(V-025SV-100) |
配管: | NW25接口波纹管 SUS304 |
排气管: | NW25(16)-38聚氯乙烯管 |

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