北京汇德信科技有限公司

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

特点:

  • 简单实用:简洁设计,操作简单
  • 用户自定义:9种真空泵可选
  • 高性能:从大气压到高真空排气
  • 可扩展组件:提供丰富组件搭配

涡轮排气单元形式


架台高度

L   低型

H   高型


涡轮分子泵

序号 型号(生产商) 排气速度 到达压力 备注
A STP-301(EDWARDS) 300L/s 10-8Pa 排气口法兰 ICF152
冷却方式 空冷(付风扇)
付控制装置
B TG220F(大阪真空) 210 10-6
C PT150(岛津制作所) 190 10-8
D HiPace300/TC110(伯东株式会社) 260 5×10-8
E STP-ix455(EDWARDS) 300 10-8

前级泵

序号 型号(生产商) 排气速度 备注
R1 RV8(EDWARDS) 141L/min 付除油雾器
(OME25S)
R2 M2010SD(Alcatel-Lucent) 141
R3 M2015SD(Alcatel-Lucent) 208
S1 ISP-250C-SV(阿耐思特岩田株式会社) 250

可选组件

序号 商品名 高型 低型 备注



P
T 把手
Q 真空计:冷阴极-皮拉尼复合真空计 (M-360CP) 显示器(M601GC)
F 前置油阱 (FL-20K)
K TMP固定板
A 自动排气
X1 特别定做 分油器 ICF152×1,NW40×1
X2 特别定做 分油器 ICF152×1,ICF70×3,NW25×2
X3 特别定做 分油器 ICF152×2,ICF70×4
Z ※可根据具体要求设计定做

其他部品

一次侧输入电源: 单相AC100V
电源线2m,底线付电源插头
阀门: 隔离阀(V-025SV-100)
配管: NW25接口波纹管 SUS304
排气管: NW25(16)-38聚氯乙烯管
ATU-001设计图


 

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