真空反射屏防污染遮板 ASS系列
 真空反射屏防污染遮板 ASS系列 |
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特点：
- 适用于RHEED
- 反射屏污染防止，提高RHEED利用率
规格：
| 型 号 | A连接法兰 | B 内径 (mm) | C (mm) | D (mm) | E (mm) | F (mm) | G (mm) | 适用管内径 | 开闭角度 | 重量 (kg) |
| ASS-6-1 | ICF152-FH | 98 | 30 | 191.5 | 86 | 65.8 | 25 | φ110 | 90° | 2.7 |
| ASS-8-1 | ICF203-FH | 148 | 198.5 | 119 | 117.5 | 52.5 | φ159 | 3.4 | ||
| 真空漏率 | ≤1.33×10-11Pa/m3/sec | |||||||||
| 驱动方式 | 磁耦合动力 | |||||||||
| 烘烤温度 | ≤200℃ | |||||||||
| 开闭角度 | ≤90° | |||||||||
| 荧光材 | 绿色发光体 | |||||||||
※ 须与真空窗配套使用
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