北京汇德信科技有限公司

真空反射屏防污染遮板 ASS系列

真空反射屏防污染遮板 ASS系列
真空反射屏防污染遮板
ASS系列

特点:

  • 适用于RHEED
  • 反射屏污染防止,提高RHEED利用率


规格:

型 号 A连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) F (mm) G (mm) 适用管内径 开闭角度 重量 (kg)
ASS-6-1 ICF152-FH 98 30 191.5 86 65.8 25 φ110 90° 2.7
ASS-8-1 ICF203-FH 148 198.5 119 117.5 52.5 φ159 3.4
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式 磁耦合动力
烘烤温度 ≤200℃
开闭角度 ≤90°
荧光材 绿色发光体

※ 须与真空窗配套使用


 

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