真空窗用防污染遮板 AVS系列
![]() 真空窗用防污染遮板 AVS系列
特点:
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规格:
型 号 | A连接法兰 | B 内径 (mm) | C (mm) | D (mm) | E (mm) | F (mm) | G (mm) | 适用管内径 (mm) | 开闭角度 | 重量 (kg) |
AVS-275 | ICF70-FH | φ39 | 25 | 144 | 26.5 | 19 | 13 | φ37 | 90° | 0.9 |
AVS-4 | ICF114-FH | φ65 | 18 | 171.5 | 53.6 | 45.5 | 23 | φ63 | 1.3 | |
AVS-6 | ICF152-FH | φ102 | 20 | 191.5 | 93 | 65 | 25 | φ100 | 1.8 | |
AVS-8 | ICF203-FH | φ155 | 22 | 211.5 | 125 | 116 | 52 | φ147 | 2.6 | |
真空漏率 | ≤1.33×10-11Pa/m3/sec | |||||||||
驱动方式 | 磁耦合动力 | |||||||||
烘烤温度 | ≤200℃ | |||||||||
开闭角度 | ≤90° |
※ 须与真空窗配套使用
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