北京汇德信科技有限公司

超高真空直线移动装置

中空Z轴驱动器

ALM275系列

中空Z轴驱动器

ALM4系列

中空Z轴驱动器

ALMS系列

直线导入器

ALMR系列

直线导入器

ALML系列

中空直线导入器

ALMB系列

中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM275系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统移动的标准型中空Z轴驱动器。

中空Z轴驱动器 ALM275系列
中空Z轴驱动器
ALM275系列

特点

  • 超高真空环境对应
  • 可对应长行程,电机驱动
  • 轻量把手设计,便于操作
  • 中空型:内径φ39mm


规格

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
A连接法兰
B移动法兰
C(mm) D(mm) 重量(Kg)
ALM-275/25 25
0.5
ICF70-FH
ICF70-FT
85~110 181 1.8
ALM-275/50 50
0.5
85~135 206 2.8
ALM-275/100 100
0.5
105~205 276 3.8
ALM-275/150 150
0.5
130~280 351 5
ALM-275/200 200
0.5
160~360 431 7.8
ALM-275/300 300
0.5
210~510 581 7.2
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃


中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM4系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动。

中空Z轴驱动器 ALM4系列
中空Z轴驱动器 ALM4系列

特点

  • 超高真空环境对应
  • 可对应长行程,电机驱动
  • 轻量把手设计,便于操作
  • 中空型:内径φ70mm


规格

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
A连接法兰
B移动法兰
C(mm) D(mm) 重量(Kg)
ALM-4/50 50
0.5
ICF114-FH
ICF114-FT
150~200 222 11
ALM-4/100 100
0.5
160~260 282 12
ALM-4/150 150
0.5
185~335 357 13
ALM-4/200 200
0.5
220~420 442 14
ALM-4/300 300
0.5
227~527 549 16
ALM-4/500 500
0.5
300~800 822 21
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃

中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALMS系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动器。

中空Z轴驱动器 ALMS系列
中空Z轴驱动器
ALMS系列

特点:

  • 超高真空对应
  • 紧凑设计便于安装
  • 分解能:0.1mm
  • 中空型:内径φ70mm


规格:

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
A连接法兰
B移动法兰
C
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
重量
(Kg)
ALMS-275/25 25
0.1
ICF70-FH
ICF70-FT
85~110 182~207 136 2.3
ALMS-275/50 50
0.1
85~135 182~232 2.7
ALMS-275/100 100
0.1
105~205 232~332 3.5
ALMS-275/150 150
0.1
120~270 282~432 4.3
ALMS-4/275/50 50
0.1
ICF114-FH
ICF70FT
85~135 182~232 180 3.8
ALMS-4/275/100 100
0.1
105~205 232~332 4.6
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃

直线导入器(Linear Motion Feedtrough) ALMR系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

直线导入器ALMR系列
直线导入器 ALMR系列

特点:

  • 超高真空对应
  • 实心型:轴径φ6mm(g6)
  • 直进能力:120N
  • 分辨率:0.01mm
  • 可电机驱动


规格:

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
A连接法兰
移动轴径(mm) C(mm) D(mm) 重量(kg)
ALMR-133/10 10
0.01
ICF34-FH φ6
(g6)
130.5 50~60 0.7
ALMR-133/20 20
0.01
153.5 50~70 0.8
ALMR-133/50 50
0.01
213.5 50~100 0.9
ALMR-275/20 20
0.01
ICF70-FH 153.5 50~70 1
ALMR-275/50 50
0.01
213.5 50~100 1.2
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 120N

直线导入器 (Linear Motion Feedtrough) ALML系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

直线导入器ALML系列
直线导入器 ALML系列

特点:

  • 超高真空对应
  • 实心型:轴径φ6mm(g6)
  • 直进能力:150N
  • 分辨率:0.5mm


规格:

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
A连接法兰
移动轴径(mm) C(mm) D(mm) 重量(kg)
ALML-133/20 20
0.5
ICF34-FH φ6
(g6)
123.5~143.5 10~30 0.6
ALML-133/30 30
0.5
130.5~160.5 10~40 0.7
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 150N

中空直线导入器 (Linear Motion Feedtrough) ALMB系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

中空直线导入器 ALMB系列
中空直线导入器 ALMB系列

特点:

  • 超高真空对应
  • 中空型:内径φ16mm
  • 直进能力:150N
  • 分辨率:0.1mm
  • 紧凑设计,便于安装


规格:

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)

A连接法兰
B移动法兰

C(mm) 重量(kg)
ALMB-133/30 30
0.1
ICF34-FH
ICF34-FT
91~121 0.6
ALMB-133/50 50
0.1
116~166 0.7
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 150N

 

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