超高真空旋转导入装置

旋转导入器

中空型

旋转导入器

涡轮驱动

旋转导入器

旋转导入器 (Rotary Motion Feedthrough) ARM系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精度旋转控制。

旋转导入器ARM系列

旋转导入器ARM系列

特点

超高真空环境对应
磁耦合动力传递
采用干润滑型轴承
旋转角度任意

规格

型号	A连接法兰	移动轴径(mm)	C(mm)	D(mm)	E(mm)	旋转力矩(Nm)	重量(kg)
ARM-133	ICF34-FH	φ6 (g6)	101.5	50	φ40	0.1	0.3
ARMH-133	ICF34-FH	φ6 (g6)	101.5		φ40	0.4	0.3
ARM-275	ICF70-FH	φ8 (g6)	151		φ65	1.7	2.4
真空漏率	≤1.33×10^-11Pa/m³/sec
驱动方式	磁耦合动力
烘烤温度	≤200℃

中空型旋转导入器 (Rotary Motion Feedthrough) ARMW系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精度旋转控制。

中空型旋转导入器ARMW系列

中空型旋转导入器
ARMW系列

特点：

超高真空对应
磁耦合动力传递
中空型设计可对应多轴导入
可指定旋转中空轴的尺寸和形状
电机驱动对应
旋转力矩：1.7Nm
分辨率：0.1°（手动选项使用时）

规格

型号	A连接法兰 B移动法兰	C(mm)	旋转力矩(Nm)	重量(kg)
ARMW-275/133	ICF70-FH ICF34-FT	用户指定长度	1.7	2.3
真空漏率	≤1.33×10^-11Pa/m³/sec
驱动方式	磁耦合动力
烘烤温度	≤200℃

照片付手动把手

蜗轮驱动旋转导入器 (Worm Gear Rotary Motion Feedthrough) AWG系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的精度旋转控制。

蜗轮驱动旋转导入器 AWG系列

蜗轮驱动旋转导入器
AWG系列

特点：

超高真空对应
蜗杆/齿轮驱动
中空型设计可对应多轴导入
可指定旋转轴的尺寸和形状

规格：

型号	A连接法兰 B移动法兰	C(mm)	减速比	重量(kg)
AWG-275	ICF70-FH ICF34-FT	用户指定	1/30	3.6
真空漏率	≤1.33×10^-11Pa/m³/sec
驱动方式	磁耦合动力
烘烤温度	≤200℃

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