超高真空旋转导入装置
旋转导入器
中空型
旋转导入器
涡轮驱动
旋转导入器
旋转导入器 (Rotary Motion Feedthrough) ARM系列
适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的精度旋转控制。
![]() 旋转导入器ARM系列
特点
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规格
型 号 | A连接法兰 | 移动轴径(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | 旋转力矩(Nm) | 重量(kg) |
ARM-133 | ICF34-FH | φ6 (g6) | 101.5 | 50 | φ40 | 0.1 | 0.3 |
ARMH-133 | 0.4 | ||||||
ARM-275 | ICF70-FH | φ8 (g6) | 151 | φ65 | 1.7 | 2.4 | |
真空漏率 | ≤1.33×10-11Pa/m3/sec | ||||||
驱动方式 | 磁耦合动力 | ||||||
烘烤温度 | ≤200℃ |
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