超高真空冷却加热装置
辐射式样品加热台 (Radiation Heating Stage)

加热器 | φ 37.5mm PG加热器 |
加热温度 | MAX 1000℃ |
驱动轴 | 面内旋转 |
加热材料 | PG/PBN SiC W Ta Pt等 |
EB样品加热台 (EB Heating Stage)

加热器 | φ 0.3mm/W |
HV/温度 |
1000V/104mA-»1380℃ 450V/260mA-»1500℃(放射温度计测定) |
可选组件 | 通电加热装置 |
样品台形状 | 复数可选 |
通电样品加热台 (Electrical Heating Stage)

通电方式 | 单侧浮标/GND连接型 两侧浮点通电型 |
辐射加热温度 | 800℃ |
样品台形状 | 复数可选,和辐射加热器组合使用,可保证衬底的稳定加热。 |
卤素灯样品加热台 (Lamp Heating Stage)

加热器 | 卤素灯 |
加热温度 | MAX 500℃ |
对应环境 | 可对应耐酸腐蚀,低真空,反应气体等环境 |
对应形状 | 可对应圆形,角形,筒形等 |
液氮样品冷却台 (Liquid Nitrogen Cryostat )

冷去方式 | 液氮 |
冷却到达温度 | MAX 500℃ |
可选组件 | 温度控制系统,样品台 |
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