北京汇德信科技有限公司

超高真空对应驱动器

XY水平位移台

高精度

三轴驱动器

倾斜旋转台

大口径XYZ

三轴位移台

差动排气旋转台

XY水平位移台 (XY Stage) AXY系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。

XY水平位移台 (XY Stage) AXY系列
XY水平位移台 (XY Stage)
AXY系列

特点

  • 超高真空环境对应
  • NM型:±12.5mm
  • SM型:±12.5mm (0.01mm)
  • LM型:±12.5mm (0.005mm)
  • 可电机驱动


规格

型 号 X,Y轴移动进程(mm)
X,Y轴移动精度(mm)
A 连接法兰
B 移动法兰
C内径(mm) D(mm) E(mm) F(mm) 重量(kg)
AXY-275/NM ±12.5
1.0
ICF70-FT
ICF70-FT
φ39 130 145.5±12.5 90 3.1
AXY-275/SM ±12.5
0.01
199.5±12.5
AXY-275/LM ±12.5
0.005
193.5±12.5 3.5
AXY-4/275NM ±12.5
1.0
ICF114-FT
ICF70-FT
145.5±12.5 3.8
AXY-4/275SM ±12.5
0.01
199.5±12.5 3.9
AXY-4/275LM ±12.5
0.005
4.1
AXY-4/4NM ±12.5
1.0
ICF152-FT
ICF114-FT
φ70 180 224.5±12.5 130 8.1
AXY-4/4LM ±12.5
0.005
218.5±12.5 8.4
AXY-6/4NM ±12.5
1.0
ICF114-FT 224.5±12.5 8.6
AXY-6/4LM ±12.5
0.005
218.5±12.5 8.9
AXY-8/4NM ±12.5
1.0
ICF203-FT
ICF114-FT
224.5±12.5 150 11.2
AXY-8/4LM ±12.5
0.005
218.5±12.5 11.5
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封方式 焊接波纹管方式
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)


高精度三轴驱动器 (XYZ Manipulator) AMP系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。

摆动杆 (Wobble Stick) AMWS系列
摆动杆 (Wobble Stick)
AMWS系列

特点

  • 超高真空对应
  • SM型:±12.5mm (0.1mm)
  • LM型:±12.5mm (0.005mm)
  • ICF34-FT 付导入接口(AMP-4除外)
  • 可电机驱动


规格

型 号 X,Y轴移动进程
X,Y轴移动精度
Z轴移动进程
Z轴移动精度
(mm)
A连接法兰
B移动法兰
C(mm) D(mm) E(mm) 重量(Kg)
AMP-4/275/50SM ±12.5mm
0.01mm
50/0.5 ICF114-FH
ICF70-FT
235~285 319 --- 11
AMP-4/275/100SM 100/0.5 240~340 374 12
AMP-4/275/150SM 150/0.5 245~395 430 13
AMP-4/275/200SM 200/0.5 250~450 484 14
AMP-4/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm
50/0.5 235~285 325 11
AMP-4/275/100LMS 100/0.5 240~340 380 12
AMP-4/275/150LMS 150/0.5 245~395 435 13
AMP-4/275/200LMS 200/0.5 250~450 490 14
AMP-6/275/50SM ±12.5mm
0.01mm
50/0.5 ICF152-FH
ICF70-FT
235~285 319 ICF34-FT×4 12
AMP-6/275/100SM 100/0.5 240~340 374 13
AMP-6/275/150SM 150/0.5 245~395 430 13
AMP-6/275/200SM 200/0.5 250~450 484 14
AMP-6/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm
50/0.5 235~285 325 12
AMP-6/275/100LMS 100/0.5 240~340 380 13
AMP-6/275/150LMS 150/0.5 245~395 435 14
AMP-6/275/200LMS 200/0.5 250~450 490 15
AMP-8/275/50SM ±12.5mm
0.01mm
50/0.5 ICF203-FH
ICF70-FT
235~285 319 ICF34-FT×5 13
AMP-8/275/100SM 100/0.5 240~340 374 14
AMP-8/275/150SM 150/0.5 245~395 430 15
AMP-8/275/200SM 200/0.5 250~450 484 16
AMP-8/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm
50/0.5 235~285 325 13
AMP-8/275/100LMS 100/0.5 240~340 380 14
AMP-8/275/150LMS 150/0.5 245~395 435 15
AMP-8/275/200LMS 200/0.5 250~450 490 16
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)

倾斜旋转台 (Tilt Stage) ATS系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中的样品的角度控制。

倾斜旋转台 (Tilt Stage) ATS系列
倾斜旋转台 (Tilt Stage)
ATS系列

特点:

  • 超高真空对应
  • 倾斜角度:±5°


规格:

型 号 A连接法兰
B移动法兰
C内径
(mm)
D
(mm)
E
(mm)
F
(mm)
G
(mm)
H
(mm)
倾斜角 重量
(Kg)
ATS-275 ICF70-FH
ICF70-FT
φ38 118±6.5 45 80 φ110 160 ±5° 2
ATS-4 ICF114-FH
ICF114-FT
φ70 129±6.5 53 95 φ155 205 4.8
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)

大口径XYZ三轴位移台 (High Load XYZ Manipulator) ALF3系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。

可用于i-GONIO以及其他样品台,极低温机构等装置的加载。

大口径XYZ三轴位移台 ALF3系列
大口径XYZ三轴位移台
ALF3系列

特点:

  • 超高真空对应
  • SM型:±12.5mm (0.1mm)
  • LM型:±12.5mm (0.005mm)
  • 大口径移动法兰:ICF152、ICF203
  • 可电机驱动


规格:

型 号 X,Y轴移动距离
X,Y轴移动精度
Z轴移动距离
Z轴移动精度
A连接法兰
B移动法兰
C内径(mm) D(mm) E(mm) 重量(Kg)
ALF3-8/6/50LM/H ±12.5mm
0.005mm
50mm
0.5mm
ICF203-FH
ICF152-FT
φ102 250~300
268.5
±12.5mm
37
ALF3-8/6/100LM/H 100mm
0.5mm
250~350
38
ALF3-8/6/150LM/H 150mm
0.5mm
250~400
39
ALF3-8/6/200LM/H 200mm
0.5mm
250~450
40
ALF3-8/6/250LM/H 250mm
0.5mm
255~505
41
ALF3-8/6/300LM/H 300mm
0.5mm
260~560
42
ALF3-8/6/50LMS/H ±25mm
0.005mm
50mm
0.5mm
270~320 298
±25mm
37
ALF3-8/6/100LMS/H 100mm
0.5mm
275~375 38
ALF3-8/6/150LMS/H 150mm
0.5mm
280~430 39
ALF3-8/6/200LMS/H 200mm
0.5mm
285~485 41
ALF3-8/6/250LMS/H 250mm
0.5mm
290~540 42
ALF3-8/6/300LMS/H 300mm
0.5mm
295~595 43
ALF3-8/8/50LM/H ±12.5mm
0.005mm
50mm
0.5mm
ICF203-FH
ICF203-FT
φ152 250~300 268.5
±12.5mm
39
ALF3-8/8/100LM/H 100mm
0.5mm
250~350 41
ALF3-8/8/150LM/H 150mm
0.5mm
250~400 42
ALF3-8/8/200LM/H 200mm
0.5mm
250~450 43
ALF3-8/8/250LM/H 250mm
0.5mm
255~505 44
ALF3-8/8/300LM/H 300mm
0.5mm
260~560 45
ALF3-8/8/50LMS/H ±25mm
0.005mm
50mm
0.5mm
300~350 298
±25mm
40
ALF3-8/8/100LMS/H 100mm
0.5mm
305~405 41
ALF3-8/8/150LMS/H 150mm
0.5mm
310~460 42
ALF3-8/8/200LMS/H 200mm
0.5mm
315~515 43
ALF3-8/8/250LMS/H 250mm
0.5mm
320~570 44
ALF3-8/8/300LMS/H 300mm
0.5mm
325~625 46
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃(测微器除外)

差动排气旋转台 (Differentially Pumped Rotary Stage) ARS系列


适用于各种真空设备,特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。

差动排气旋转台 (Differentially Pumped Rotary Stage) ARS系列
差动排气旋转台ARS系列

特点:

  • 超高真空环境对应(差动排气:1Pa以下)
  • 中空连续旋转台
  • 角度分辨率:0.1°
  • 旋转速度:2rpm以下
  • 可电机驱动


规格:

型 号 A连接法兰
B移动法兰
C内径(mm) D(mm) E(mm) F差动排气接口法兰 G(mm) H(mm) I(mm) 重量(kg)
ARS-275 ICF70-FT
ICF70-FT
φ39 70 18 ICF34-FT 60 74 68.5 3.2
ARS-4 ICF114-FT
ICF114-FT
φ65 70 89 4.2
ARS-6 ICF152-FT
ICF152-FT
φ105 90 119 96 6.4
ARS-8 ICF203-FT
ICF203-FT
φ155 100 33 120 169.5 174 13.5
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 UHV密封
驱动方式 蜗轮
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)
角度分辨率 0.1°
旋转速度 2rpm以下


 

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