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三维表面形貌仪_三维表面轮廓仪

三维表面形貌仪/三维表面轮廓仪

3D Optical Profiler/ 3D Metrology


瑞士Heliotis公司多年来致力于开发高速光学三维表面成像技术,独特的智能像素专利技术让阵列式CMOS探测器上的每一个像素都可以独立锁相、处理像素信息,利用白光干涉原理研发出市面上的超快三维表面形貌仪(又称高速三维相机)。为工业用户量身定制的超快测量特点,使得用户可以在保证产线效率的同时实现对产品的在线监控。模块化产品设计也使得该技术具备超高的集成灵活性,能满足用户各种苛刻的应用要求和环境要求。高精度,高重复性和操作简单特点,能让用户轻松实现样品三维表面轮廓的全面表征,且不会对样品造成任何损伤。


三维表面形貌仪产品


1、整机P4系列与高速三维相机H系列


Heliotis可提供的高速三维相机总共有三种:H3,H4,H6。用户可以将定制设备当做实验室检测设备使用,也可以根据生产需要将相机拆下,直接集成到产线中,实现在线试测量。


P4-400定制系统,可以配备H3,H4,H6三种不同相机

P4-400定制系统,可以配备H3,H4,H6三种不同相机


2、高速锁相相机 C3


高速锁相相机HeliCam C3基于光学相干层析原理,最初是为实时三维光学成像而设计。在这个配置中,样品被低相干光源照射,从样品上反射的光与参考信号结合,产生的干涉信号进一步被处理,从而得到样品表面的深度信息。


高速锁相相机HeliCam C3

高速锁相相机 C3


三维表面形貌仪测量原理:


低相干白光同时照射样品和参考平面,被样品和参考平面反射的两束白光发生干涉后由阵列式CMOS探测器接收,由于探测器直接与信号处理芯片(Smart Pixel技术)连接,所以阵列上每个像素点的信号都在芯片中完成锁相放大,背景信号补偿和结果计算输出,成像于计算机就实现了样品表面的快速三维形貌测量。



三维表面形貌仪测量原理示意图1 三维表面形貌仪测量原理示意图2

原理示意图


三维表面形貌仪技术特点:


  • 每秒一百万张二维图像
  • 无损表面形貌检测和分析
  • 高精度在线/离线检测
  • 模块化设计,超高集成灵活性
  • 无需苛刻的工作环境(振动,噪声,温度等)
  • 可应用于科研和工业领域


三维表面形貌仪应用领域:


工业:

  • 食品安全在线检测
  • 微电子集成电路表面形貌在线检测
  • 印刷电路板品质检测
  • 零件器件表面划痕损伤检测
  • 微机械精加工质量控制,如钟表,微机械器件等
  • 电子产品零件在线监控,如手机,笔记本电脑,平板等
  • 微流体器件三维形貌检测
  • 在线检测设备集成
  • 证件防伪,安检


科研:

  • MEMS器件
  • 微机械零件表面形貌观察和测量
  • 微光学器件(太赫兹、红外、微波、天线阵列)三维形貌表征
  • 生命科学:生物组织/生物体的 三维形貌测量
  • 侦查取证:表面划痕观察,微小证据三维形貌快速表征



更多信息,请查看Heliotis网站:www.heliotis.ch

 

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