北京汇德信科技有限公司

图形发生器 ELPHY Quantum


ELPHY Quantum 图形发生器


ELPHY Quantum已被广泛使用于SEM & FIB的通用型电子束光刻图形发生器附件。


所有的功能全部集成于一个软件包中,从图形设计,曝光参数的管理,图形套刻对准,到步进和重复曝光。


ELPHY Quantum硬件特别设计成16 bit,6MHz数模转换器矢量扫描束偏转PC板安装于计算机主机中,计算机为Windows操作系统。Raith在全世界范围内建立的技术支持体系从事着用户现场的安装培训工作,保证您能在短时间内学会光刻和结果检测。

ELPHY Quantum

所有的功能全部集成于一个软件包中,从图形设计,曝光参数的管理,图形套刻对准,到步进和重复曝光。


ELPHY Quantum硬件特别设计成16 bit,6MHz数模转换器矢量扫描束偏转PC板安装于计算机主机中,计算机为Windows操作系统。Raith在全世界范围内建立的技术支持体系从事着用户现场的安装培训工作,保证您能在短时间内学会光刻和结果检测。


ELPHY软件特点:


  • 分等级的完成整合的GDSII层编辑/识别
  • DXF, CIF and ASCII等数据格式都可输入
  • 曝光参数调整和计算
  • Macro产生和可视化Basic脚本语言
  • 数字图像获取
  • 可测量线宽
  • SEM/FIB远程控制和FIB模块
  • 额外赠送一个离线注册


图形发生器ELPHY Quantum硬件特点:


  • 直写速度6 MHz
  • TTL –开关信号输出
  • TTL –SEM/FIB外部扫描开/关
  • TTL- FIB/SEM外部束控制信号
  • 6个额外的数模转换器,每个通道对准和校正(从硬件上处理尺寸缩放、旋转/正交和移动)

 

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