图形发生器 ELPHY Plus

ELPHY软件特点：

• 分等级的完全整合的GDSII层编辑/观看
• DXF, CIF and ASCII等数据格式都可输入
• 曝光参数调整和计算
• Macro产生和可视化Basic脚本语言
• 数字图像获取
• 可测量线宽
• SEM/FIB远程控制和FIB模块
• 选项：完全集成的邻近效应修正和参数计算功能

图形发生器ELPHY硬件特点：

• 12 MHz高速图形发生器硬件（19英寸数字信号处理器单元，独立于PC）
• 快速，低噪声，抗尖峰脉冲和高性能的16 bit数模转换器矢量扫描束偏转
• 16 bit数模转换器矢量扫描束偏转
• TTL和100V束信号驱动
• 12 bit模数通道，读取探测器信号（图像获取）
• TTL - FIB/SEM外部束控制信号
• 6个额外的数模转换器，每个通道对准和校正（从硬件上处理尺寸缩放、旋转/正交和移动）
• 含独立于PC机的电器和热控制的主数模转换器和用于校准的数模转换器