北京汇德信科技有限公司

图形发生器 ELPHY Plus


图形发生器ELPHY Plus是一种可增加到SEM和FIB系统上的先进的光刻附件。通常它被用于场发射静电偏转的SEM和FIB上。


高速的ELPHY Plus硬件即使在快速直写时也具有低噪声、信号质量好和稳定的特点。基于PC的技术无法与ELPHY Plus的硬件性能相比拟。


Raith在世界范围内建立起完善的服务体系,在用户现场进行安装和培训,保证您在尽可能短的时间内学会电子束曝光加工和结果检测。


ELPHY Plus

高速的ELPHY Plus硬件即使在快速直写时也具有低噪声、信号质量好和稳定的特点。基于PC的技术无法与ELPHY Plus的硬件性能相比拟。


Raith在世界范围内建立起完善的服务体系,在用户现场进行安装和培训,保证您在尽可能短的时间内学会电子束曝光加工和结果检测。


ELPHY软件特点:


  • 分等级的完全整合的GDSII层编辑/观看
  • DXF, CIF and ASCII等数据格式都可输入
  • 曝光参数调整和计算
  • Macro产生和可视化Basic脚本语言
  • 数字图像获取
  • 可测量线宽
  • SEM/FIB远程控制和FIB模块
  • 选项:完全集成的邻近效应修正和参数计算功能


图形发生器ELPHY硬件特点:


  • 12 MHz高速图形发生器硬件(19英寸数字信号处理器单元,独立于PC)
  • 快速,低噪声,抗尖峰脉冲和高性能的16 bit数模转换器矢量扫描束偏转
  • 16 bit数模转换器矢量扫描束偏转
  • TTL和100V束信号驱动
  • 12 bit模数通道,读取探测器信号(图像获取)
  • TTL - FIB/SEM外部束控制信号
  • 6个额外的数模转换器,每个通道对准和校正(从硬件上处理尺寸缩放、旋转/正交和移动)
  • 含独立于PC机的电器和热控制的主数模转换器和用于校准的数模转换器

 

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