北京汇德信科技有限公司

periodixx


periodixx使用调制束移动工作台(MBMS)曝光模式实现无拼接误差周期性结构图型化


periodixx是一种非常新的独特的曝光技术,可实现"零拼接误差"。它专门用于Raith的电子和离子束光刻系统,没有其他任何一家矢量扫描电子束系统能提供这一功能。


为了满足含周期性结构的器件的加工技术的需求,Raith现在可提供periodixx,一种专业的无拼接误差的图型化模式,可适用于高斯束,矢量扫描电子束和离子束曝光系统。这种新功能是基于Raith的调制束移动工作台(MBMS)技术,可与存在的运用固定束移动工作台(FBMS)技术的traxx曝光模式配合使用。


在MBMS曝光模式中,束的移动由重复性图形和同步的激光干涉工作台的连续移动结合起来确定,来曝光或加工无拼接带状周期性结构。正相反FBMS允许连续直写长路径,如无拼接的光波导,路径的宽度由动态束扩展来确定。


periodixx完全集成到了Raith的Nanosuite软件包,完全与内置的GDSII数据处理兼容。


periodixx可适用于RAITH150 Two, eLINE Plus 和ionLINE。若您对升级您的现有系统感兴趣,请联系我们。



based on MBMS technology

周期性结构的任意图形

布拉格光栅的光学成像,周期从185nm 到186.2nm

大面积光栅结构

在MBMS曝光模式中,束的移动由重复性图形和同步的激光干涉工作台的连续移动结合起来确定,来曝光或加工无拼接带状周期性结构。正相反FBMS允许连续直写长路径,如无拼接的光波导,路径的宽度由动态束扩展来确定。


periodixx完全集成到了Raith的Nanosuite软件包,完全与内置的GDSII数据处理兼容。


periodixx可适用于RAITH150 Two, eLINE Plus 和ionLINE。若您对升级您的现有系统感兴趣,请联系我们。

 

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