北京汇德信科技有限公司

traxx


traxx使用固定束移动工作台(FBMS)曝光模式实现无拼接误差连续直写。


traxx是一个非常独特的功能,它基于FBMS曝光技术,可实现"零拼接误差"。它专门用于Raith的电子和离子束光刻系统,没有其他任何一家矢量扫描电子束系统能提供这一功能。


不同于传统的拼接曝光,traxx运用复杂的FBMS,使用独有的连续直写模式。束保持固定,工作台在下面按照想要的图案的任意形状路径来运动。图案可以是几毫米到几厘米长,同时保持横向尺寸在20nm到微米,且线边缘的粗糙度非常小。


使用这种独有的连续直写模式,避免了任何拼接误差,因此可以提高光子器件的质量和传输,如(锥形)波导和X射线光学。


traxx完全集成到了Raith的Nanosuite软件包,完全与内置的GDSII数据处理兼容。


traxx可适用于RAITH150-Two, eLINE Plus 和ionLINE。若您对升级您的现有系统感兴趣,请联系我们。





毫米级长波导阵列结构


大面积延迟波导结构

traxx完全集成到了Raith的Nanosuite软件包,完全与内置的GDSII数据处理兼容。


traxx可适用于RAITH150-Two, eLINE Plus 和ionLINE。若您对升级您的现有系统感兴趣,请联系我们。

 

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