北京汇德信科技有限公司

VOYAGER 新一代高速度电子束曝光系统


VOYAGER系统的问世标志着Raith新一代电子束直写技术的产生。它的革新性的设计和性能指标,所追求的目标是:优良的结果,高速度和低成本。


基于Raith追求完美的标准,VOYAGER使电子束曝光更上一层楼:更快,更智能,创新,经济。


eWrite电子束直写技术


VOYAGER是应用Raith新的eWrit技术的第一台系统。


eWrite结合了新的电子束曝光电子光学系统,及革新性的
图形发生器设计。eWrite适合所有研发需求。


快速


VOYAGER通过以下手段实现了提高曝光速度的设计理念:


  • 直观好用的Windows® 7操作环境
  • 自动聚焦和消象散设置
  • 一键式预置高分辨或高产出模式
  • 功能全面的NanoSuite软件,包括强大的邻近效应修正和
    GDSII CAD图形编辑
  • 写场大至500 μm,实时进行动态修正
  • 新研制的静电偏转器
  • 50 MHz图形发生器
  • 曝光效率高至1cm2/h(占空比50%)


从设计直至完成样片的曝光工艺,实现了可靠的速度提升,这是
VOYAGER对用户的保证。


智能


VOYAGER是根据用户的宝贵的需求和反馈来进行研制的。


  • 宽松的环境指标:迷你小环境,允许大的温度波动和噪声容忍度
  • 基于先进和灵活的现场可编程门阵列设计,图形发生器可现场升级
  • 集成的变焦镜头可实现束电流范围宽,且可连续调节
  • 高分辨成像和量度,用于曝光结果的检测和确认
  • 强大而灵活的对准能力,任何形状和位置的标记都可识别


智能化的设计意味着蕴含很多聪明的点子,曝光结果更理想。


创新


VOYAGER电子束直写系统在系统构建和曝光应用上都体现出了创新


  • 先进的电子枪设计,含三个透镜,用于快速及方便的对准
  • InLens二次电子探测器,图像清晰且真实
  • 紧凑开关模式电源
  • 无拼接曝光模式(连续移动工作台+移动电子束),对应长路径或
    周期性图形
  • 专业的三维曝光模式,如菲涅耳透镜模拟和大面积灰度位图曝光


经济


VOYAGER从大局到小细节都围绕着全面实现提高功效和性价比的设计理念


  • 迷你小环境节省了设备整个使用时间内的房间环境费用
  • 占地小,节约了实验室面积
  • 光刻机内还含有高分辨成像功能和样品导航选址能力
  • 只换灯丝部分而不用更换电子枪整体,更换费用降低
  • 其他为设备所有者节约费用的优化




VOYAGER - Speed up

ZEP520A光刻胶上的密集光子晶体结构

大面积光栅结构

大面积光陷阱太阳能电池

5um厚PMMA上的闪耀光栅结构

HSQ胶上制作小于7nm的纳米线

VOYAGER成像模式: 碳上的锡球

智能


VOYAGER是根据用户的宝贵的需求和反馈来进行研制的。


  • 宽松的环境指标:迷你小环境,允许大的温度波动和噪声容忍度
  • 基于先进和灵活的现场可编程门阵列设计,图形发生器可现场升级
  • 集成的变焦镜头可实现束电流范围宽,且可连续调节
  • 高分辨成像和量度,用于曝光结果的检测和确认
  • 强大而灵活的对准能力,任何形状和位置的标记都可识别


智能化的设计意味着蕴含很多聪明的点子,曝光结果更理想。


创新


VOYAGER电子束直写系统在系统构建和曝光应用上都体现出了创新


  • 先进的电子枪设计,含三个透镜,用于快速及方便的对准
  • InLens二次电子探测器,图像清晰且真实
  • 紧凑开关模式电源
  • 无拼接曝光模式(连续移动工作台+移动电子束),对应长路径或
    周期性图形
  • 专业的三维曝光模式,如菲涅耳透镜模拟和大面积灰度位图曝光


经济


VOYAGER从大局到小细节都围绕着全面实现提高功效和性价比的设计理念


  • 迷你小环境节省了设备整个使用时间内的房间环境费用
  • 占地小,节约了实验室面积
  • 光刻机内还含有高分辨成像功能和样品导航选址能力
  • 只换灯丝部分而不用更换电子枪整体,更换费用降低
  • 其他为设备所有者节约费用的优化


点击查看更多详情:VOYAGER电子束曝光系统


 

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