北京汇德信科技有限公司

极紫外光源与光栅


德国Bruker公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光,远紫外光和X射线产品。


极紫外光(XUV)的波长在1纳米到50纳米之间,包括了通常所说的软X射线和远紫外光(EUV)。


特征:


  • 安装简单,操作方便;
  • 自成独立系统,可通过锆窗与应用真空系统隔离;
  • 参数安全设定,符合CE标准;
  • 可持久工作,维护费用低(只需电源和氙气)。


参数:

  • 2 J / pulse electrical input
  • > 0.4 mJ / sr / pulse  EUV inband
  • < 500 mm source diameter FWHM
  • > 50 Hz Reprate
  • Permanent operation 7 days / 24 h
  • Guaranteed 100.000.000 pulses;
    Tested up to 230.000.000(> 1200 hours)
  • Flexible head orientation


广泛用于:


  • 纳米电子器件的实验室制作
  • 纳米电子工业的光刻和工艺优化(如光刻胶优化)
  • 作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究


极紫外光源系统
极紫外光源系统
极紫外曝光系统
极紫外曝光系统
透射光栅摄谱仪(TGS) 极紫外曝光系统 透射光栅摄谱仪(TGS)
放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon
极紫外曝光系统 放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon
E-Spec: EUV spectroscopyE-Spec: EUV spectroscopy
In-Band 通量测量In-Band 通量测量


极紫外反射率测试系统

极紫外反射率测试系统

极紫外反射率测试系统


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