北京汇德信科技有限公司

钛酸锶衬底 Strontium Titanium Substrate


材料性质


结构分子式:

SrTiO3

形态:

单晶

晶体结构:

立方

晶格参数

3.905 Å

相变:

四方<110K

密度:

5.12 g/cm3

熔点:

2080°C

膨胀系数:

11.1 * 10-6/°C

介电常数 (e ):

310


衬底性质


生产方法:

Verneuil生长 (无孪晶)

取向:

(100)

取向精度:

≤ 0.5°

标准尺寸:

10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm

长度公差:

± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm)

厚度公差:

± 0.05mm

平行度:

≤ 0.02mm

抛光:

标准:一面

平整度:

λ/4

表面粗糙度:

Rmax ≤3nm (average Ra=1nm)

划伤:

表面质量:

光学显微镜观察无缺陷


 

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