钛酸锶衬底 Strontium Titanium Substrate
材料性质
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结构分子式: |
SrTiO3 |
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形态: |
单晶 |
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晶体结构: |
立方 |
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晶格参数 |
3.905 Å |
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相变: |
四方<110K |
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密度: |
5.12 g/cm3 |
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熔点: |
2080°C |
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膨胀系数: |
11.1 * 10-6/°C |
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介电常数 (e ): |
310 |
衬底性质
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生产方法: |
Verneuil生长 (无孪晶) |
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取向: |
(100) |
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取向精度: |
≤ 0.5° |
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标准尺寸: |
10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm |
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长度公差: |
± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm) |
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厚度公差: |
± 0.05mm |
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平行度: |
≤ 0.02mm |
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抛光: |
标准:一面 |
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平整度: |
λ/4 |
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表面粗糙度: |
Rmax ≤3nm (average Ra=1nm) |
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划伤: |
无 |
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表面质量: |
光学显微镜观察无缺陷 |


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