北京汇德信科技有限公司

钍:铝酸镧 Th:Lanthanum Aluminate Substrate


类Verneuill 生长


材料性质


结构分子式:

LaAlO3


形态:

单晶


晶体结构:

菱形


立方

a = 5.377 Å

α= 60.13°

a = 3.821 Å

相变:

> 500° C


密度:

6.51 g/cm3


熔点:

2180°C


膨胀系数:

10 * 10-6/°C


介电常数 (e ):

20-25



衬底性质


生产方法:

类Verneuill 生长 (最小量孪晶)

取向:

(100)

取向精度:

≤ 0.5°

标准尺寸:

10mm x 10mm x 厚度 1mm 0.5mm

长度公差:

± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm)

厚度公差:

± 0.05mm

平行度:

≤ 0.02mm

抛光:

标准:一面

平整度:

λ/2

表面粗糙度:

Rmax ≤15nm (平均 Ra = 3nm)

划伤:

表面质量:

光学显微镜观察无缺陷

 

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