2015年Raith电子束光刻中国区第五届用户会(The 5th Raith Chinese User Meeting, 2015)于9.1-9.2日在中国科学院物理研究所隆重召开。
会议主要针对Raith电子束光刻和聚焦离子束加工技术的最新发展和国际上热门的应用等问题进行了深入地探讨和愉快地交流。另外针对大家重点关注的技术问题，我们在会议第二天安排了电子束曝光技术（包含邻近效应修正、FBMS、MBMS、SEM图像上套刻图形等）及设备日常维护工作的培训，培训内容充实，现场气氛活跃，取得了非常好的交流效果，得到了用户的一致好评！
参加本次会议的用户主要包括中科院物理所、中科院半导体所、纳米能源所、国家纳米中心、中科院化学所、北京大学、清华大学、上海交通大学、山东大学、湖南大学、中南大学等多个国内知名院校和研究院所。对本次会议，Raith公司给予了高度地重视和极大地支持，Raith副总裁Dirk Brueggemann先生出席本次会议，并带来精彩的报告。另外Raith派出产品经理Mike Butler先生、亚洲区主管Keith Moulding先生、德国总部高级应用科学家Niklas Damnik先生及中国区高级销售经理朱国先生出席会议，全面介绍了微纳米加工技术的最新发展、对电子束光刻技术进行相关培训，并与用户展开深入的讨论。
本次会议由中科院物理所承办，在此我们向物理所参与本次会议的所有老师和同学表示衷心的感谢，向所有参加会议的老师和同学表示衷心的感谢，并期待下次用户会与您相见！
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