高精度压印模具激光焊接系统
模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体,直接决定着压印图型的质量。要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。
不同于传统光学光刻使用的掩模版(4X),纳米压印光刻使用的是1X模板。它在模具制作、检查和修复技术方面面临着更大挑战。当前,模具的制作已经成为NIL非常大的技术瓶颈,而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大,NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此,模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个重要的研究热点。
在现有技术中,压印一般采用硬膜(hardmold)的方式,压印模具一般为金属模具,如典型的镍(Ni)模具。
我们的压印模具激光焊接系统,采用了CW Fiber YAG激光源,以及高精度的定位运动平台,实现对准精度小于10微米的拼缝焊接。大面积的运动平台,我们最大可焊接2m*1.6m的滚筒模具。
高精度压印模具激光焊接系统
压印模具激光焊接系统指标:
Sleeve Dimensions | up to 2,000 x 1,600 mm |
Seam width | 75 – 200 µm (depending on material thickness) |
Laser system |
CW Fiber YAG laser, specially designed for sleeve manufacturing - transfer step: 1 µm - transfer area: 2000 x 1600 mm - special alignment table - quick change of cutting and welding heads |
Table work-frame and linear stages | High quality jigs and tools with necessary adjustments |
Machine dimensions |
Length 3000 mm Width 2500 mm Height 2000 mm Weight 1,200 kg |
压印模具激光焊接系统压印结果示例:

大尺寸滚筒模具

平型模具

全息图案焊接
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