高精度压印模具激光焊接系统

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在，模具作为压印特征的初始载体，直接决定着压印图型的质量。要实现高质量的压印复型，必须要有高质量的压印模具。

不同于传统光学光刻使用的掩模版(4X)，纳米压印光刻使用的是1X模板。它在模具制作、检查和修复技术方面面临着更大挑战。当前，模具的制作已经成为NIL非常大的技术瓶颈，而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大，NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此，模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个重要的研究热点。

在现有技术中，压印一般采用硬膜(hardmold)的方式，压印模具一般为金属模具，如典型的镍(Ni)模具。

我们的压印模具激光焊接系统，采用了CW Fiber YAG激光源，以及高精度的定位运动平台，实现对准精度小于10微米的拼缝焊接。大面积的运动平台，我们最大可焊接2m＊1.6m的滚筒模具。

高精度压印模具激光焊接系统

压印模具激光焊接系统指标：

Sleeve Dimensions	up to 2,000 x 1,600 mm
Seam width	75 – 200 µm (depending on material thickness)
Laser system	CW Fiber YAG laser, specially designed for sleeve manufacturing - transfer step: 1 µm - transfer area: 2000 x 1600 mm - special alignment table - quick change of cutting and welding heads
Table work-frame and linear stages	High quality jigs and tools with necessary adjustments
Machine dimensions	Length 3000 mm Width 2500 mm Height 2000 mm Weight 1,200 kg

压印模具激光焊接系统压印结果示例：

大尺寸滚筒模具

平型模具

全息图案焊接

分享到：