高精度压印模具激光焊接系统

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺巨大的区别所在，模具作为压印特征的初始载体，直接决定着压印图型的质量。要实现高质量的压印复型，必须要有高质量的压印模具。

不同于传统光学光刻使用的掩模版(4X)，纳米压印光刻使用的是1X模板。它在模具制作、检查和修复技术方面面临着更大挑战。当前，模具的制作已经成为NIL非常大的技术瓶颈，而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大，NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此，模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个重要的研究热点。

在现有技术中，压印一般采用硬膜(hardmold)的方式，压印模具一般为金属模具，如典型的镍(Ni)模具。

我们的压印模具激光焊接系统，采用了CW Fiber YAG激光源，以及高精度的定位运动平台，实现对准精度小于10微米的拼缝焊接。大面积的运动平台，我们可焊接2m＊1.6m的滚筒模具。

高精度压印模具激光焊接系统

压印模具激光焊接系统指标：

Sleeve Dimensions	up to 2,000 x 1,600 mm
Seam width	75 – 200 µm (depending on material thickness)
Laser system	CW Fiber YAG laser, specially designed for sleeve manufacturing - transfer step: 1 µm - transfer area: 2000 x 1600 mm - special alignment table - quick change of cutting and welding heads
Table work-frame and linear stages	High quality jigs and tools with necessary adjustments
Machine dimensions	Length 3000 mm Width 2500 mm Height 2000 mm Weight 1,200 kg

压印模具激光焊接系统压印结果示例：

大尺寸滚筒模具

平型模具

全息图案焊接

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