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高精度压印模具激光焊接系统

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体,直接决定着压印图型的质量。要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。


不同于传统光学光刻使用的掩模版(4X),纳米压印光刻使用的是1X模板。它在模具制作、检查和修复技术方面面临着更大挑战。当前,模具的制作已经成为NIL非常大的技术瓶颈,而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大,NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此,模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个重要的研究热点。


在现有技术中,压印一般采用硬膜(hardmold)的方式,压印模具一般为金属模具,如典型的镍(Ni)模具。


我们的压印模具激光焊接系统,采用了CW Fiber YAG激光源,以及高精度的定位运动平台,实现对准精度小于10微米的拼缝焊接。大面积的运动平台,我们最大可焊接2m*1.6m的滚筒模具。


高精度压印模具激光焊接系统

高精度压印模具激光焊接系统


压印模具激光焊接系统指标:


Sleeve Dimensions up to 2,000 x 1,600 mm
Seam width 75 – 200 µm (depending on material thickness)
Laser system CW Fiber YAG laser, specially designed for sleeve manufacturing
- transfer step: 1 µm
- transfer area: 2000 x 1600 mm
- special alignment table
- quick change of cutting and welding heads
Table work-frame and linear stages High quality jigs and tools with necessary adjustments
Machine dimensions Length 3000 mm
Width 2500 mm
Height 2000 mm
Weight 1,200 kg


压印模具激光焊接系统压印结果示例:


大尺寸滚筒模具
大尺寸滚筒模具
平型模具
平型模具
全息图案焊接
全息图案焊接



 

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