北京汇德信科技有限公司

纳米尺度X射线光学元件及加工 -瑞士精度

光学元件是每一种显微技术的核心部件。X射线显微成像不需要传统的玻璃透镜,而是需要特殊的纳米结构光学元件。我们可提供相应的高分辨率高深宽比产品,如波带片和其他客户定制的三维纳米结构等,以助力X射线显微成像技术的发展。


我们的世界记录的分辨率(7nm,用于软X射线扫描成像)使科研人员成功利用X射线技术观测到更小结构,获得更清晰的图片,如微芯片中的晶体管,以及先进的磁性材料。我们定位于先进前沿的科学实验、材料检测和医学成像:在一些解决方案中相对于传统产品,光子效率提高一倍;在一些高强度X射线激光器应用中,大大解决了光学衰减问题。


产品


□ 波带片


菲涅尔波带片
菲涅尔波带片
高深宽比波带片,选材丰富,采用电子束光刻技术制造

超高分辨波带片
超高分辨波带片
分辨率<10nm, 利用Ir-line-doubling技术制作

高效波带片
高效波带片
闪耀光学器件,二元光学的光子效率提高一倍,适用于大量材料

□ 光栅,蓝宝石元件,三维结构


光栅和分束器
光栅和分束器
衍射光栅,用于分束、相位对比成像或光栅干涉测量

蓝宝石光学
蓝宝石光学
波带片,光栅或其他光学元件,蓝宝石材料,适合极端热负荷下的应用,如FELs.

三维纳米结构
三维纳米结构
客户定制的三D打印结构,如相位校正板、相模透镜和阵列、或分辨率测试靶

□ 分辨率测试样品


  • 二维分辨率测试标样
  • 三维测试样品
  • 微CT测试标样


分辨率测试样品

分辨率测试样品

标准或定制的分辨率测试图案,保证高精度要求


□ 其他


哈特曼波前传感器板 Hartmann wavefront sensor plates

哈特曼波前传感器板

Hartmann wavefront sensor plates

用高Z材料,通过深反应离子刻蚀制作


Zernike相位对比度 Zernike phase contrast

Zernike相位对比度

Zernike phase contrast

全场透射X射线显微镜光学,冷凝器,波带板和zernike相环


□ 客户定制,加工服务


客户定制,加工服务


针对一些独特的应用,如分束,聚焦或轨道角动量,用户自由设计。我们提供加工服务,帮助您快速完成微纳米制备:


  • 针对您的需求,找到合理的解决方案
  • 产品设计,适合应用的要求
  • 加工,质量控制


技术


□ 通过Ir-line-doubling技术实际最大可能的高分辨率


通过Ir-line-doubling技术实际最大可能的高分辨率图1

通过Ir-line-doubling技术实际最大可能的高分辨率图2


凭借我们独特的线倍增技术,我们可以实现X射线束聚焦精确到5nm,这使我们成为世界纪录保持者。


有了这样一个精确的聚焦,X射线成像分辨率达到了前所未有的水平,使以前看不见的东西变得可见,实现了全新的应用。


□ 通过闪耀光学优化效率


通过闪耀光学优化效率图1

通过闪耀光学优化效率图2


光学元件的光子效率越高,通过它的光子越多,这意味着在同样的结果的情况下,光学效率越高,更节约时间和能量。


与传统的双光栅相比,理论光子效率极限为40.5%,仅增加一个台阶的闪耀光栅的极限已经提高到68.4%,再增加一个台阶,则可到81.1%。


由于我们使用电子束光刻工艺来制造光学元件,我们可以轻松地实现多台阶闪耀光栅的加工。


我们已经实现了衍射带板的光子效率超过50%,而工业标准为5-10%,最先进的应用达到25%。


这样,不仅可以将实验时间缩短一半,而且可以将在世界上大型的X射线源上进行实验的巨大成本削减一半。


□ 蓝宝石光学前所未有的辐射稳定性


通蓝宝石光学前所未有的辐射稳定性图1


在过去的几十年里,X射线源的亮度急剧上升,自由电子激光器的亮度达到太阳亮度的1亿倍以上。


这开辟了研究的重要领域,但也揭示了X射线光学的一个关键限制:在如此高的辐射能量下,它们会融化。


我们已经开发出一种方法来加工蓝宝石,它是一种耐热的天然材料。


蓝宝石光学元件可以很容易地承受自由电子激光X射线束的极端强度,从而缓解了自由电子激光实验中的这一瓶颈。



 

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