纳米尺度X射线光学元件及加工（菲涅尔波带片）

X射线光学元件及加工－瑞士精度

光学元件是每一种显微技术的核心部件。X射线显微成像不需要传统的玻璃透镜，而是需要特殊的纳米结构光学元件。我们可提供相应的高分辨率高深宽比X射线光学元件，如（菲涅尔）波带片和其他客户定制的三维纳米结构等，以助力X射线显微成像技术的发展。

我们的世界记录的分辨率（7nm，用于软X射线扫描成像）使科研人员成功利用X射线技术观测到更小结构，获得更清晰的图片，如微芯片中的晶体管，以及先进的磁性材料。我们定位于先进前沿的科学实验、材料检测和医学成像：在一些解决方案中相对于传统产品，光子效率提高一倍；在一些高强度X射线激光器应用中，大大解决了光学衰减问题。

X射线光学元件产品

□ 波带片（zone plate）

□ 光栅，蓝宝石元件，三维结构

□ 分辨率测试样品

• 二维分辨率测试标样
• 三维测试样品
• 微CT测试标样

分辨率测试样品

标准或定制的分辨率测试图案，保证高精度要求

□ 其他

哈特曼波前传感器板

Hartmann wavefront sensor plates

用高Z材料，通过深反应离子刻蚀制作

Zernike相位对比度

Zernike phase contrast

全场透射X射线显微镜光学，冷凝器，波带板和zernike相环

□ 客户定制，加工服务

针对一些独特的应用，如分束，聚焦或轨道角动量，用户自由设计。我们提供加工服务，帮助您快速完成微纳米制备：

• 针对您的需求，找到合理的解决方案
• 产品设计，适合应用的要求
• 加工，质量控制

技术

□ 通过Ir-line-doubling技术实际最大可能的高分辨率

凭借我们独特的线倍增技术，我们可以实现X射线束聚焦精确到5nm，这使我们成为世界纪录保持者。

有了这样一个精确的聚焦，X射线成像分辨率达到了前所未有的水平，使以前看不见的东西变得可见，实现了全新的应用。

□ 通过闪耀光学优化效率

光学元件的光子效率越高，通过它的光子越多，这意味着在同样的结果的情况下，光学效率越高，更节约时间和能量。

与传统的双光栅相比，理论光子效率极限为40.5%，仅增加一个台阶的闪耀光栅的极限已经提高到68.4%，再增加一个台阶，则可到81.1%。

由于我们使用电子束光刻工艺来制造光学元件，我们可以轻松地实现多台阶闪耀光栅的加工。

我们已经实现了衍射带板的光子效率超过50%，而工业标准为5-10%，最先进的应用达到25%。

这样，不仅可以将实验时间缩短一半，而且可以将在世界上大型的X射线源上进行实验的巨大成本削减一半。

□ 蓝宝石光学前所未有的辐射稳定性

在过去的几十年里，X射线源的亮度急剧上升，自由电子激光器的亮度达到太阳亮度的1亿倍以上。

这开辟了研究的重要领域，但也揭示了X射线光学的一个关键限制：在如此高的辐射能量下，它们会融化。

我们已经开发出一种方法来加工蓝宝石，它是一种耐热的天然材料。

蓝宝石光学元件可以很容易地承受自由电子激光X射线束的极端强度，从而缓解了自由电子激光实验中的这一瓶颈。