北京汇德信科技有限公司

系统控制软件


软件控制界面


FBB控制软件使用的程序语言是Labview,可以允许客户做少量的自我编辑。我们的程序基本上分成四大界面,第一个是整体的规划,第二个是系统状态,第三个是系统记录,最后一个是自动程序。所以用户可以很容易地直觉式的编程,比如说第一步把样品加热到1000摄氏度,第二步设定溅射功率,将磁控溅射腔清靶,第三步等待五分钟,第四步将样品挡板打开,第五步镀膜中,第六步将挡板关起来,完成整个程序。非常地人性化设计。


FBBear系统控制软件


FBBear(Formosa Black Bear)实现了全部自动化、工艺过程控制和监测、以及参数调整和监测。它还提供数据记录、处理和分析。


FBBear系统控制软件是一个多功能软件,用于控制整个超高真空系统,如:


  • 掩模控制
  • 束源炉/电子束/离子束/等离子体/磁控管控制
  • 压力(上游/下游)控制
  • 样品台转速控制
  • 靶材旋转和公转控制
  • 工艺过程控制等


FBBear可以控制EUROTHERM2408来调谐和保存用于激光/灯丝加热器的多个PID参数,以达到不同衬底温度要求的最佳精度。


FBBear 沉积程序可以轻松设置、定制和保存实验配方,并使沉积过程完全自动化。可以轻易地重复具有相同实验参数的沉积过程。此外,它还可以管理ID记录和数据日志等,以审查过去的沉积参数。


我们可提供RHEED的附带程序,客户无论是否购买我们的高能电子抢,均可以直接使用这个软件,不用再购买其他专业的RHEED分析软件,可以节省客户预算。 FBBear RHEED监控软件提供对生长过程的实时监测和分析:

a)单个原子层生长的计数。

b)确定生长机制(如:外延生长、阶梯流生长或三维岛状生长)。


FBBear软件可以进行数据处理和分析。





 

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