北京汇德信科技有限公司

单离子注入(SII)

Nano analytik公司成立于2010年4月,技术源自德国伊尔梅瑙科技大学,公司的核心竞争力在于传感器、微系统和控制技术,公司宗旨是让纳米分析技术简单化,在保证科研严谨性的同时提高科研效率。


Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔(小于 50nm)并结合扫描探针的精确定位,完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件,例如可用于量子计算机的单电子晶体管。


单离子注入(SII)
单离子注入(SII)


技术特点:

  • 精确定位定量离子注入
  • 针尖悬臂上的小孔小于50nm
  • 锥形电场稀释和准直离子束
  • 横向电场形成离子闸门

应用领域:

  • 功能材料定位掺杂
  • 纳米尺度器件制备
  • 固态量子计算机



工作原理示意图(纳米漏斗)
工作原理示意图(纳米漏斗)
氮离子注入金刚石色心
氮离子注入金刚石色心
场效应器件验证离子注入
场效应器件验证离子注入


扫描探针悬臂梁,扫描针尖及紧邻的小孔(50nm)
扫描探针悬臂梁,扫描针尖及紧邻的小孔(50nm)


区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂
区域定位单离子注入 V.S. 随机掺杂
1.8nm单电子晶体管
1.8nm单电子晶体管
2017年4月 欧盟科研项目
室温量子效应(库伦阻塞)


 

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