超高真空用腔体-真空脱气处理

真空脱气处理

真空脱气处理是对真空腔体/零件等在真空中进行加热，减少实际使用时的真空容器内壁以及内部零件材料的气体放出，即使腔体达到良好环境的前处理。

真空脱气处理采用每秒3000升的涡轮分子泵，Qmass可精确控制残留气体。脱气处理后进行高精密脱脂清洗处理。

另外，对磁耦合样品传输装置、驱动器、XY水平位移台等真空驱动装置也实施真空脱气处理，提供良好真空环境。对要求到达真空度E^-9Pa～E^-10Pa级的腔体，可减小启动烘烤温度值和加热时间。

规格：