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微纳制造与加工技术
系统- 高分辨紫外/深紫外PHABLE光刻机
- 扫描针尖电子束光刻机（SPL）
- 去胶机（微波等离子去胶机）
- 微波等离子清洗机
- 新品CERES微纳金属3D打印系统
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- 德国Zoz Simoloyer® 系列
高能球磨机
组件
真空和薄膜生长技术
系统 组件
材料检测及测量技术
实验样品及耗材
┗ 光栅
测试及加工服务
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