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微纳制造与加工技术
系统- PhableR 100 紫外光刻机
- 扫描探针光刻系统（SPL）
- 单离子注入（SII）
- 去胶机（微波等离子去胶机）
- 新品匀胶&显影&烘台一体机/电子束蒸发台/干法刻蚀机
- 新品FluidFM 微3D打印机
- 锇等离子镀膜机(OPC)
- 极紫外光源与光栅
- 微生产（组装）系统
- 德国Zoz Simoloyer® 系列
高能球磨机
组件
真空和薄膜生长技术
系统↪︎ 科研型
- 真空设备定制、改造与维护
- 脉冲激光沉积系统PLD(国产)
- 分子束外延系统（MBE）
- 脉冲激光沉积系统(PLD)
- 磁控溅射
- 电子束蒸发EBE
- 离子束溅射系统
- 原子层沉积系统
- 约瑟夫森结专用制备机
- 刻蚀系统
- 超高真空整合系统
- 系统控制软件
组件
材料检测及测量技术
- 宽频介电阻抗谱仪
- 杨氏模量无损测量系统
- SCALA 扫描式激光分析仪
- 三维表面形貌仪
- 纳米级三维测量仪
- 原子力显微镜（AFM）
- 集成于SEM的原子力显微镜
- 稳定性分析及颗粒表征仪器
- 德国Keller（凯乐）红外测温仪
实验样品及耗材
┗ 光栅
┗ 紫外压印胶
测试及加工服务
