北京汇德信科技有限公司

PhableR 100 紫外光刻机

高分辨紫外光刻系统

科研/生产兼用


简介


PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE 曝光技术,在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅(六角形和正方形),且曝光结果非常均匀,质量很 好;在"mask aligner"模式下,能非常轻松地获得微米尺寸的图形。


特点:


  • 高效的大面积亚微米-纳米图形化设备
  • 操作简单、工作稳定,兼容科研及批量生产
  • 纳米周期性图案解决方案


优势


  • 大面积图形化设备:适用4、6、8寸衬底
  • 高曝光效率:非步进式曝光,无拼接,单次全场曝光实现整片图形化
  • 高精度:光学衍射自成像原理,突破传统曝光精度极限
  • 非接触式曝光
  • 设备没有景深限制,曝光过程无需对焦
  • 双工作模式(UV375机型):高分辨模式(周期性纳米-微米结构),一般紫外光刻模式(非周期结构)
  • 设备采用通用的商业光刻胶,根据客户的图形,提供工艺技术支持。


PhableR 100革新性紫外光刻机


指标:


光源

UV375nm

DUV266nm

DUV193nm

分辨率

125nm

75nm

62nm

周期范围

250-3000nm

150-2500nm

125-2000nm

操作方式

手动装片-自动曝光

参数设置

触摸屏

基片尺寸

最大4、6、8英寸(尺寸向下兼容)


PhableR 100 晶圆级光子学结构的曝光工具




应用:


  • 图形化蓝宝石衬底(PSS)
  • DFB布拉格光栅
  • 减反层图形
  • 显示滤光片Color Filter
  • 线栅偏振Wire Grid Polarizer(WGP)
  • 光子晶体
  • 磁性纳米结构
  • 太阳能光伏
  • 生物传感器
  • AR、VR技术


Phable紫外光刻机应用实例:


Phable紫外光刻机在图形化蓝宝石衬底(PSS)中的应用


名词解释:图形化蓝宝石衬底Patterned Sapphire Substrates (PSS)


Eulitha公司的PHABLE紫外光刻机是在广泛用于LED生产中的蓝宝石衬底上曝光图形的理解工具。图形化蓝宝石衬底有利于高质量的半导体材料层的 生长,从而得到高性能的LED器件。需要的结构是典型的柱或孔的阵列,一般呈六边形排布,周期为1-3μm(PSS),当制作纳米级图形化蓝宝石衬底 (NPSS——Nano-Patterned Sapphire Substrates)时,周期一般是几百纳米,更精细的结构带来更大的出光效率。大多数蓝宝石样片表面都不平整,使用传统光刻方法,以可接受的成本,很难获得很好的曝光图形,而PHABLE紫外光刻机在蓝宝石衬底上能曝光出这些高分辨的结构,且具有很好的均匀性和重复性。PHABLE紫外光刻机可在四英寸硅片上一次曝光出均匀图形,生产效率非常高。同时,我们可以对涂得很厚的光刻胶进行曝光,以利于下一步轻松地进行蓝宝石衬底的刻蚀。


用PhableR 100高分辨紫外光刻机在2英寸 蓝宝石衬底上曝光出的高分辨图形
在光刻胶上曝光出的周期结构
用PhableR 100高分辨紫外光刻机在 2" 蓝宝石衬底上曝光出的高分辨图形
在光刻胶上曝光出的周期结构


点击下载:Phable紫外光刻机在图形化蓝宝石衬底(PSS)中应用的详细介绍(.pdf)


更多信息,请登录:http://www.eulitha.com/


 

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