Chessy——通用型精确SEM测试样品

描述：

在1cm²的硅片上，制备出160万个1微米的金格，形成四重棋盘结构。最小的棋盘结构为10x10μm。一个个小的棋盘又可形成较大的象棋——100x100μm的矩阵。以此类推，又可形成1mm²的棋盘。最后这些1mm²的象棋格以同样的方式分布在1cm²大小的硅片上。

此图形是利用Leica公司的ZBA23H电子束光刻机，在光刻胶上直写出来，再通过离子束刻蚀将图形转移到金层上的。

应用：

图像

在20倍到5万倍范围内校准SEM的放大倍率

检测x方面和y方面的比例是否相同

检测正交性和失真

在高放大倍数条件下的分辨率检测

工作台检测

利用所存储位置数据，测量重复性

校准x、y轴的读数

校准工作台的正交性

测量绝对位置精度

电子束光刻

（使用SEM附件——ELPHY Plus或者ELPHY Quantum图形发生器）

通过标志识别和对准，在10μm²到25mm²的写场内，制备图形

通过在不同位置下的标志识别，测量在任意放大倍数下的SEM的失真程度

在外部区域检测散焦