北京汇德信科技有限公司

Chessy——通用型精确SEM测试样品


描述:


在1cm2的硅片上,制备出160万个1微米的金格,形成四重棋盘结构。最小的棋盘结构为10x10μm。一个个小的棋盘又可形成较大的象棋——100x100μm的矩阵。以此类推,又可形成1mm2的棋盘。最后这些1mm2的象棋格以同样的方式分布在1cm2大小的硅片上。


此图形是利用Leica公司的ZBA23H电子束光刻机,在光刻胶上直写出来,再通过离子束刻蚀将图形转移到金层上的。



应用:


图像

在20倍到5万倍范围内校准SEM的放大倍率

检测x方面和y方面的比例是否相同

检测正交性和失真

在高放大倍数条件下的分辨率检测


工作台检测


利用所存储位置数据,测量重复性

校准x、y轴的读数

校准工作台的正交性

测量绝对位置精度


电子束光刻


(使用SEM附件——ELPHY Plus或者ELPHY Quantum图形发生器)

通过标志识别和对准,在10μm2到25mm2的写场内,制备图形

通过在不同位置下的标志识别,测量在任意放大倍数下的SEM的失真程度

在外部区域检测散焦


 

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