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物理所“2011年微纳米加工技术讲习班”圆满结束


Raith公司对于亚洲地区微纳加工的发展给予极大重视,暑期赞助中科院物理所举办了“2011年微纳米加工技术讲习班”。


讲习班上Raith德国总部工程师Daniel Bernhardt以及亚太区产品经理Andre Linden分别作了相关报告,就电子束光刻的基本原理,技术进展以及国际最新应用等问题展开讨论。


“2011年微纳米加工技术讲习班合影


这次讲习班全面介绍了微纳米加工技术的基础与最新发展,将微纳米加工技术基础知识讲授与前沿专题讲座和先进微加工设备介绍相结合,讲授了关于微纳米尺度加工技术的基础知识与应用,并就微纳米加工技术的发展与应用做了前沿专题讲座。对我国微纳米科学与技术的发展和该领域人才的培养起到了积极的促进作用。


本次讲习班得到中国科学院和国家自然科学基金委员会的大力支持。全国60多个科研院所和高等院校的300余名科研人员和研究生参与了讲习班,对微纳米加工技术进行了全面系统的学习。


近年来,我国微纳米技术方面发展迅速,材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一。微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。微纳米加工技术相对于传统加工技术有很多新特点,通过引进先进的微纳米加工设备,国内一些高校和科研单位陆续建立了微纳米加工技术平台,研究人员对于微纳米加工技术的基础与应用知识和设备的使用与操作都有了相当的了解,微纳米加工技术必将迎来新的发展。

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