北京汇德信科技有限公司

连续式溅射系统



利用磁控溅射进行标准物理气相沉积(PVD)艺,在玻璃(或其他材料)上进行镀膜工艺


  • 多腔连续水平式生产
  • 尺寸2.5~5代线 (370x470mm~1100x1250mm)
  • 纯金属溅镀、反应式溅镀、混合式溅镀、表面清洁,改质等多种制程搭配
  • 全自动化系统
  • 人机界面,简易操作


应用范例:


膜层和膜系 AZO, Cu, Ga, ITO, Mo, Al, In, Ag....


抗电磁波(EMI)、产品装饰膜(NCVM)、被动元件(Chip R)、触控荧幕(T.P)、彩色滤光片(C.F)、显示器(TFT;OLED)、薄膜太阳能电池(Solar cell)



 

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