北京汇德信科技有限公司

磁控溅射系统



主要特点:


  • 阴极容量:
    • 3个矩形溅射阴极(450mm×75mm)或更大
    • 1个矩形离子源(或溅射)
  • 样品容量:
    • 200多个15mm×15mm小样品
      或多个棒状样品
      或柔性基板
    • 双面沉积
  • 定制型SS316L电抛光腔体
  • 5E-7torr本底真空压力(5E-8Torr可通过更换主泵达到)
  • 红外加热元件,样品加热温度:500°C
  • 直流、射频或脉冲直流电源
  • 离子源
  • 压力控制系统:上游和下游
  • FBBeam系统控制软件



 

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