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锇等离子镀膜机 (OPC)

锇等离子镀膜机 (OPC) 是一种基于直流辉光放电的等离子镀膜设备。OPC 采用了全新的四氧化锇气体 PCVD方式获得锇膜。不同于传统的溅射和蒸镀,OPC 很好地解决了薄膜的颗粒及热损伤问题。


OPC 可以实现自动化操作,用于给 SEM、FE-SEM 样品镀导电薄膜或是给 TEM 样品镀支持膜。镀膜厚度从几纳米到几百纳米,甚至是 1 纳米以下的超薄膜。


锇等离子镀膜机OPC60A 标准型

OPC60A 标准型

可自动生长锇膜

  • 阴极样品台尺寸:直径 60mm,以下任选其一:
    兼容直径 10mmSEM 样品托,7 孔位
    兼容直径 15mmSEM 样品托,4 孔位
    兼容直径 36mmSEM 样品托,1 孔位
锇等离子镀膜机OPC80T 高配型

OPC80T 高配型

可自动生长锇膜和萘膜

  • 可自动生长锇膜和萘膜
  • 可同时容纳 2 个直径 10mm 的 SEM 样品托,2 个直径 15mm 的 样品托,以及 1 个直径 32mm 的样品托
锇存储器

锇存储器

锇存储器带观察窗,可确定锇的剩余量。

存储器可单独取下并密封(冷冻保存),可保存较长时间,安全性很高。


应用:

  • SEM、FE-SEM 样品镀导电膜
  • TEM(FIB)样品镀保护膜
  • AFM 样品镀保护膜
  • STM 样品镀保护膜以及导电膜
  • TEM 样品镀支持膜


产品特点:


设备性能

  • 自动化控制,镀膜时只需设定薄膜厚度,镀膜过程自动完成
  • 锇存储器可拆卸:具有密封式结构,可冷冻保存
  • 镀膜时间短:只需几秒钟膜厚就可以达到纳米级
  • 装有互锁回路:一但 OsO4 气体进入腔体,真空不达标,腔体就无法打开


锇导电薄膜性能

  • 无颗粒:用 OPC 镀的锇导电金属膜是完全无定形的
  • 锇膜均匀性极高
  • 无热损伤:相比于热蒸镀和离子溅射,OPC 对样品没有热损伤
  • 无电子损伤:锇膜硬度高、熔点高,不会因强电子束流受损伤
  • 无污染:样品在阴极,表面只有锇阳离子,可以保证无污染


等离子体聚合萘膜性能

  • 坚韧性:薄膜具有坚韧性,可承受 FIB 中的镓离子
  • 抗热性
  • 绝缘性
  • 无颗粒
  • 高均匀性
  • 无热损伤
  • 无电子损伤


产品参数:


型号

OPC80T

OPC60A

反应腔

钢化玻璃腔体: 160mm(OD)x105mm(H)

钢化玻璃腔体: 120mm(OD)x73mm(H)

镀膜厚度

几纳米到几十纳米

兼容SEM样品托

可同时容纳2个直径10mm,2个直径15mm,以及1个直径32mm的SEM样品托

可容纳7个直径10mm,或4个直径15mm,或1个直径32mm的SEM样品托

镀膜种类

锇(OsO4)

萘(C10H8)

锇(OsO4)

锇存储器

带观察窗,可拆卸,可密封、冷冻保存

萘存储器

可拆卸, 带观察窗

气体导入

OsO4安瓿瓶在OsO4存储器中被打开,OsO4升华之后进入反应腔体。

C10H8保存在C10H8存储器中,升华之后进入反应腔体.

OsO4安瓿瓶在OsO4存储器中被打开,OsO4升华之后进入反应腔体。


电源

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

外部尺寸

450(w)x410(D)x390(H)mm

450(w)x350(D)x330(H)mm

重量

约30kg

约20kg

 

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