北京汇德信科技有限公司

E-Beam蒸发源/K-Cell 蒸发源

E-Beam 蒸发源

E-Beam

蒸发源控制器

K-Cell 蒸发源

K-Cell

蒸发源控制器

E-Beam 蒸发源EBHE-1



E-Beam(电子束)蒸发源

E-Beam 蒸发源挡板与法兰口兼容


E-Beam 蒸发源特殊设计的线性推进器

特点

  • 高效的水冷结构,无需区分进、出水口
  • 快速填料
  • 简便更换灯丝
  • 挡板小巧,与法兰口兼容
  • 带有外界磁场屏蔽的可靠束流监控装置
  • 精确的旋转导入控制棒材位置:线性移动行程25mm, 推进指示精度0.01mm
  • 中科院物理所成熟的专利技术, 性价比高
  • 交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短


应用

适用于较难蒸发的低蒸气压材料, 使其局部快速升温, 产生分子束流, 外延生长成膜, 可达到很好的效果.


规格

安装法兰 DN40CF
蒸发温度 ≥ 3000℃
腔内尺寸 直径:34mm, 长度:170mm 和210mm,可定制
最大功率 250W
高压范围 0~2000V
灯丝电流 0~2.5A
最高烘烤温度 200℃
蒸发材料性状 棒状、丝状、粉末状
坩埚 材质:钨、钼、钽,容量:0.12cc, 0.18cc


E-Beam 蒸发源控制器EBHC-101


E-Beam 蒸发源控制器


规格

指标名称 范围 精度
高压输出 输出电压 0~2000V 1V
发射电流 0~125mA 1mA
功率 0~250W 0.1W
灯丝电流 0~7A 10mA
束流输入 100pA~1mA 100pA
尺寸信息 高度3U,19”机柜,深度400mm
产品重量 8Kg

特点

  • 5.6”LCD 触控屏,操作简单
  • 灵活的工作模式(手动、恒高压、恒发射电流、恒功率、恒束流和外部控制)
  • 多种接口类型(USB/Ethernet/RS232)
  • 简便的数据存储和输出
  • 屏幕截图功能
  • 操作简洁,带有Linux 系统的ARM11 处理器,可进行有线/ 无线远程控制,可利用USB 接口进行在线升级
  • 一对一接口连接,安装方便


应用

电子束蒸发源配套控制器或作为独立高压电源及电子束加热控制器使用


K-Cell 蒸发源RHE-1



K-Cell 蒸发源

K-Cell 蒸发源集成档板


k-cell蒸发源多角度安装

规格:

项目 规格
安装法兰 DN40CF
蒸发温度 250~1200℃
腔内尺寸 直径 34mm
长度

标 准 件:130mm 和 210mm

客户定制:130mm~400mm (建议 300mm 以内)

灯丝电流 0~12A
烘烤温度 200℃
坩埚 材质 Al2O3
容量 0.57cc, 1.91cc

特点:

  • 适用于超高真空环境 < 10-10 mbar
  • 集成挡板
  • 防材料倾倒结构,可广角度安装
  • 高效的专利水冷结构
  • 高稳定性
  • 中科院物理所成熟的专利技术 , 性价比高
  • 交易过程无需繁琐的进、出关手续 , 交货期短



K-Cell 蒸发源控制器


E-Beam 蒸发源控制器


规格

型号 TC-FP600CK ( 规格以该型号为例)
输入电压 AC 220V\50Hz
最大输出电压 / 功率 AC 50V / 600W(可定制)
测量精度 0.1
支持热偶类型 K,J,N,R,S,B,L,T,C 等
1200℃时控温精度 ±0.5℃
被测电阻式蒸发源PID 参数设定 P: 6.2,I:8,D: 4
尺寸信息 高度4U,19”机柜,深度460mm
产品重量 13~18Kg

特点

  • LED/LCD 大屏幕显示
  • 主控表可选:Eurotherm, Shimaden, Yudian
  • 测量精度可选:0.1%,0.05%
  • 最大可支持200 程序段
  • 控制用户访问安全级别
  • 先进的人工智能PID 控制算法
  • 支持多种输入:热偶,RTD,线性电压或者电流
  • 模拟输出控制:0~5V
  • 通讯端口:RS-485


应用

除了作为热蒸发源温控设备外,还可作为烘箱、熔化炉等电阻式加热设备的温度控制器。


 

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